涡轮分子泵UTM-MS系列|Notice|新闻中心|ULVAC SHOWCASE

Notice

2022年11月30号

我们很高兴地通知您,我们发布了以下新产品。

新发布产品

涡轮分子泵 UTM-MS系列

・UTM300A-MS
・UTM400A-MS
・UTM800A-MS
・UTM1000A-MS
・UTM1300A-MS
・UTM1500A-MS
・UTM2400A-MS
・UTM3400A-MS
・UTM4300A-MS
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UTM-MS_thumb.jpg

特长

  • 泵体和控制器分开。控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。
  • 自由的安装方向。自由的安装方向使系统装置的设计更灵活。
  • 排气速度300L/s~4000L/s的型号阵容。
  • 分子泵转速在25-100%范围内可变。通过改变转速在腔室中实现压力调节。
  • 高耐用性和安全性。通过了大气冲击试验、急停测试等各种安全性确认试验。

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