售后咨询

真空泵(低・中真空)

• 螺杆型干泵
• 多级罗茨型干泵
• 涡旋式干泵
  • 两阶段
    • Model:DIS-90
    • Model:DIS-252
    • Model:DIS-501
  • 单级
    • Model:DISL-102
    • Model:DISL-503
  • 吸排气过滤器
    • Model:SGT-100
    • Model:SGT-200
• 隔膜型干泵
  • 标准规格（一段式）
    • Model:DAP-12S
    • Model:DAP-18S-DC24
    • Model:DA-60S
    • Model:DAT-100S
    • Model:DA-40S
    • Model:DA-81S
    • Model:DA-120S
    • Model:DA-241S
  • 标准规格（二段式）
    • Model:DAP-6D
    • Model:DAP-9D-DC24
    • Model:DA-30D
    • Model:DAT-50D
    • Model:DA-20D
    • Model:DA-41D
    • Model:DA-60D
    • Model:DA-121D
  • 耐腐蚀规格
    • Model:DTC-41K
    • Model:DTC-22K
    • Model:DTC-22
    • Model:DTC-41
    • Model:DTC-60
  • 高真空规格
    • Model:DAU-20
  • 高真空规格・耐腐蚀规格
    • Model:DTU-20
• 摇动活塞型干泵
• 油回转真空泵
  • 磁力耦合器规格
    • Model:GHD-031
    • Model:GHD-101
  • 高功能规格
    • Model:GLD-040
    • Model:GLD-137AA(日本产) / GLD-N137(中国产)
    • Model:GLD-137CC(日本产) / GLD-N137(中国产)
    • Model:GLD-202AA(日本产) / GLD-N202(中国产)
    • Model:GLD-202BB(日本产) / GLD-N202(中国产)
    • Model:GLD-280A(日本产) / GLD-N280(中国产)
  • 耐腐蚀规格
    • Model:GCD-051X
    • Model:GCD-136X
    • Model:GCD-201X
  • G 系列
  • 大容量型
    • Model:VS650B / VS750B
    • Model:VS1501 / VS2401
    • Model:VS300A-W
    • Model:PVD
    • Model:VD
    • Model:PKS
  • 油雾捕集器
    • Model: OM200iA
    • Model:TMX-1(日本产) / TMN151(中国产)
    • Model:TM201(日本产) / TMN201(中国产)
    • Model:TM401(日本产) / TMN401(中国产)
    • Model:TM-2
    • Model:TM-2F
    • Model:TM-3(日本产) / NOS1801(中国产)
    • Model:TM-3F
    • Model:TM-4(日本产) / NOS2401(中国产)
    • Model:TM-4F
    • Model:TM-4S
    • Model:OMT-050A
    • Model:OMT-100A
    • Model:OMT-200A
    • Model:OMI-100
    • Model:OMI-200
    • G3/4调整为G1
    • Model:OMC-050
    • Model:OMC-200
  • 吸气口过滤器
    • Model:OFI-050C
    • Model:OFI-200C
    • Model:OFI-050V
    • Model:OFI-200V
  • 吸气可选零件
    • O.D.Φ8×M20
    • O.D.Φ12×M20
    • O.D.Φ15×M20
    • O.D.Φ18×M20
    • O.D.Φ22×M20
    • O.D.Φ27×□40
    • O.D.Φ27×□50
    • O.D.Φ12　(GHD-031A)
    • O.D.Φ18　(GHD-031A)
    • KF-25×M20
    • KF-25×□40
    • KF-25×□50
    • A型吸气管 R1/4-L20外螺纹×M20
    • B型吸气管 R1/4内螺纹×M20
    • C型吸气管 R1/4-L10外螺纹×M20
    • 40适配器 M20×□40
    • 50适配器 M20×□50
    • KF-25适配器KF-25×M20内螺纹
  • 排气可选零件
    • Φ15×G3/4
    • Φ18×G3/4
    • Φ27×G1
    • KF-16×G3/4
    • KF-25×G3/4
    • KF-25×G1
• 罗茨泵
• 排气单元
• 真空泵油
• 寻找可选零件
  • 防震橡胶
    • 防震橡胶Model:KA-20
    • 防震橡胶Model:KA-25
    • 防震橡胶Model:ME-10
    • 防震橡胶Model:ME-12
    • 防震橡胶Model:ME-15
    • 防震橡胶Model:ME-12cut
    • 防震橡胶Model:ME15cut
    • 防震橡胶Model:ME-20
    • 防震橡胶Model:ME-25
  • 保养包
    • 保养包Model:DA-121D
    • 保养包Model:DA-15D/30S
    • 保养包Model:DA-15S
    • 保养包Model:DA-20D/40S
    • 保养包Model:DA-241S
    • 保养包Model:DA-30D/60S
    • 保养包Model:DA-41D/41DK
    • 保养包Model:DA-60D/120S/DAH-60
    • 保养包Model:DA-81S/81SK
    • 保养包Model:DAL-181D
    • 保养包Model:DAL-361S
    • 保养包Model:DAP-15
    • 保养包Model:DAP-30
    • 保养包Model:DAP-6D/12S
    • 保养包Model:DAT-100S
    • 保养包Model:DAT-50D
    • 保养包Model:DAU-100
    • 保养包Model:DAU-20
    • 保养包Model:DOP-181S
    • 保养包Model:DOP-300S/SA/301SA/SB/SVB
    • 保养包Model:DOP-400SA/400SB
    • 保养包Model:DOP-40D
    • 保养包Model:DOP-420S
    • 保养包Model:DOP-80S
    • 保养包Model:DTC-20/21/21K
    • 保养包Model:DTC-22/22K
    • 保养包Model:DTC-40/41/41K
    • 保养包Model:DTC-60
    • 保养包Model:DTU-20

真空泵(高真空)

• 低温泵
• 超级冷阱
• 涡轮分子泵
• 溅射离子泵
• 油扩散泵
• 排气单元

真空计

• 皮拉尼真空计
• 热阴极电离真空计
• 冷阴极电离真空计
• 电容压力计
• 选购配件・消耗品

气体分析仪（工艺气体监测仪）

• 溅射工艺
• 基础工艺
• 高性能工艺
• 高压工艺
• 大气压环境工艺
• CVD/ALD/刻蚀工艺
• 气体分析仪专用软件

检漏仪

• 独立系统
  • HELIOT900 系列
    • Model:HELIOT901W1
    • Model:HELIOT901D2
    • Model:HELIOT904W2
    • Model:HELIOT904D3R
    • Model:HELIOT904D4R
• 可搭载于其他系统
• 校正漏孔
• 选配件 / 消耗品
  • 吸枪部件
    • Model:AS9
    • Model:BS9
    • Model:BT9

水晶振荡式成膜控制器

• 水晶式成膜控制器
• 单传感器
• 多传感器
• 水晶振动子
• 选型

真空阀

• 真空角阀
• 真空门阀
• 摆动阀

用于等离子体生成的电源

真空沉积电子枪

• 电子枪
  • 平顶型_用于金属的EB源_EGN系列
    • Model: EGN
  • 实验室_用于金属的EB源_EGK系列
    • Model: EGK
  • 用于金属的EB源_EGL系列
    • Model: EGL
  • 用于光学的EB光源_EGO系列
    • Model: EGO
  • EB源_选配
    • 为可选辅助设备
• 电子枪电源
  • EB源电源_HPS系列
    • Model: HPS

真空传输机器人

• 真空传输机器人
  • COVOT系列
    • Model:COVOT
  • ELEC-RZ
    • Model:ELEC-RZ

低温设备(CRYO)

• 极低温冷冻机
  • Model:PDC08
  • Model:PD016
  • Model:S030
  • Model:S050
  • Model:RM10T
  • Model:RM20T
  • Model:RM50T
  • Model:RM80T
  • Model:RMS10T
  • Model:RMS50T
  • Model:RMS80T
  • Model:RMS150T
  • Model:HE05
  • Model:UHE10
  • Model:UHE15
• 稀?冷?机
• 液氮制备机
  • Model:EMP-07A
  • Model:EMP-07W
  • Model:EMP-14A
  • Model:EMP-14W
  • Model:EMP-20W
  • Model:MP-300K
• 低温恒温器
• 热处理・热物性评估装置