高速光谱椭偏仪的基础知识

高速光谱椭偏仪UNECS的特点

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高速光谱椭偏仪UNECS系列

爱发科的高速光谱椭偏仪(UNECS系列)可高速,高精度地测量薄膜的厚度和折射率。采用独特的测量方法以实现高速测量和紧凑性。除了独特的便携式类型外,我们还根据应用提供广泛的产品阵容,从独特的便携式类型到支持真空环境的自动Stage类型和内置类型。

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■高速测量
通过不含旋转机构的独特测量方法实现了最大速度为20ms的高速测量。
可以在短时间内测量重复测量和多点分布测量。
■可见光对应
除了标准类型(530nm-750nm)外,还添加了可见光谱类型(380nm-760nm)以支持更大范围的波长。
■紧凑型传感器单元
投受光传感器仅由不含旋转机构的光学元件组成,极其轻巧且紧凑,并且不需要定期维护。
■ 丰富的产品阵容
支持多种应用,包括独特的便携式类型,手动/自动Stage类型,大型基板类型以及支持大气/真空环境的内置类型。



类型:便携式

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型号
(Stage型)
波长范围(nm) Spot直径(mm) Z轴焦点调整 追加功能
530-750 380-760 1 0.3 手动 自动 高精度
Map
2000点
3D显示
UNECS-
Portable
(固定型)
- - - - -
UNECS-
Portable-030
(固定型)
- - - - -
UNECS-
PortableW
(固定型)
- - - - -
UNECS-
PortableW-300
(固定型)
- - - - -

类型:手动Stage
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型号
(Stage型)
波长范围(nm) Spot直径(mm) Z轴焦点调整 追加功能
530-750 380-760 1 0.3 手动 自动 高精度
Map
2000点
3D显示
UNECS-1500M
(手動Φ150mm)
- - - - -
UNECS-1500M-030
(手動Φ150mm)
- - - - -
UNECS-1500MW
(手動Φ150mm)
- - - - -
UNECS-1500MW-030
(手動Φ150mm)
- - - - -

类型:自动Stage
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型号
(Stage型)
波长范围(nm) Spot直径(mm) Z轴焦点调整 追加功能
530-750 380-760 1 0.3 手动 自动 高精度
Map
2000点
3D显示
UNECS-1500A
(自动 Φ150m)
- - -
UNECS-1500A-030
(自动 Φ150mm)
- - -
UNECS-1500AW
(自动 Φ150mm)
- - -
UNECS-1500AW-030
(自动 Φ150mm)
- - -
UNECS-2000A
(自动 Φ200mm)
- - -
UNECS-2000A-030
(自动 Φ200mm)
- - -
UNECS-2000AW
(自动 Φ200mm)
- - -
UNECS-2000AW-030
(自动 Φ200mm)
- - -
UNECS-3000A
(自动 Φ300mm)
- - -
UNECS-3000A-030
(自动 Φ300mm)
- - -
UNECS-3000AW
(自动 Φ300mm)
- - -
UNECS-3000AW-030
(自动 Φ300mm)
- - -

类型:内置
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型号 用途 波长范围(nm) Spot径(mm)
大气 真空 530-750 380-760 1 0.3
UNECS-1M - - -
UNECS-1M-030 - - -
UNECS-1MW - - -
UNECS-1MW-030 - - -
UNECS-1MV - - -
UNECS-1MVW - - -

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  • 便携式
    测量单元仅重2.2kg,便于携带。

  • 高速测量
    最快20ms的高速测量,实现快速测量和分析。

  • 波长选择
    可从标准类型530〜750nm和可见光谱类型380〜760nm中选择。

  • Spot直径选择
    可以从Φ1mm和Φ0.3mm中选择。

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  • 手动Stage
    Φ150mmR-θStage具有出色的可操作性,易于进行测量定位。

  • 高速测量
    最快20ms的高速测量,实现快速测量和分析。

  • 波长选择
    可从标准类型530〜750nm和可见光谱类型380〜760nm中选择。

  • Spot直径选择
    可以从Φ1mm和Φ0.3mm中选择

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■测量分析
结构简单,便于测量和分析
即时分析并显示测量和拟合结果



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  • 对应150-300mm
    Φ150,200,300mm 3种可选

  • 自动Stage/自动对焦
    自动Stage和自动聚焦功能可快速自动测量基材表面上的薄膜厚度分布,并将结果显示在有色Map中。

  • 高速测量
    最快20ms的高速测量,实现快速测量和分析。

  • 波长选择
    可从标准类型530〜750nm和可见光谱类型380〜760nm中选择。

  • Spot直径选择
    可以从Φ1mm和Φ0.3mm中选择。

■测量分析
配备R-θ型自动Stage,自动Map测量
设置好基板,按下开始按钮后,自动聚焦(自动高度调节)→指定的坐标测量→拟合分析→直到基板卸下前都自动检测



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简单易用的软件使任何人都可以执行高精度的分布测量。

  • 可以通过两种方式输入测量坐标:R-Θ(半径和角度)和X,Y(前后,左右)。 (最高200point)
  • 测量结果实时显示。
  • 实时显示测量结果(在ψpsi和Δdelta波长范围内的分布图)。 可以稍后再进行分析。

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  • built-in
    轻巧紧凑的传感器单元可以轻松地整合到成膜设备中。

  • 高速测量
    最快20ms的高速测量,实现快速测量和分析。

  • 波长选择
    可从标准类型530〜750nm和可见光谱类型380〜760nm中选择。

  • Spot直径选择
    可以从Φ1mm和Φ0.3mm中选择。

  • 真空对应
    除了正常的大气类型外,还可以提供对应真空环境的真空类型。

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测量再现性

高速测量和出色的测量重现性

即使测量速度很快,数据的可靠性也不会降低。 与许多(其他公司)同等产品相比,可获得非常稳定的重现性。

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测量 膜厚(nm) 折光率(633nm)
1 205.6 1.459
2 205.7 1.459
3 205.5 1.458
4 205.6 1.459
5 205.5 1.459
6 205.6 1.459
7 205.6 1.459
8 205.7 1.458
9 205.6 1.459
10 205.6 1.458
平均値 205.6 1.459
最大値 205.7 1.459
最小値 205.5 1.458
标准偏差 0.050 0.0003
标准偏差(%) 0.02% 0.02%

■自动Mapping测量
通过高速Mapping测量轻松评估膜厚度分布
在X,Y模式或R-θ模式下测量坐标输入可以轻松指定F



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材料表

由于包含了薄膜和基板的光学常数的材料表是公开的,因此用户可以自由添加或编辑。
通过建立接近于实际膜质的数据,从而可以进行更可靠的分析。

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  • 用户可以自由地编辑和添加包含了每种材料的光学常数(折射率和消光系数)的材料表。
  • 主要材料的文献预先存储在库中。在评估其他材料或未知材料时,或者无法使用文献数据进行分析时,可以轻松地根据测量数据编辑文件内容或添加新文件。
    这样就能进行高度可靠的分析。
  • 许多材料数据文件都是私有的(用户无法编辑),需要每次都要求制造商进行编辑和分析,基本上要收取大量费用,及花费时间。
    因此,解决了研发未知材料工作的不便之处。

高速光谱椭偏仪的基础知识

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