A2K-20K

アルバック

A2K系列是在反应性溅射工艺中，在DC电源输出上脉冲施加正电压，中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电的附加单元。
能在原来的电源上简单的追加，低成本实现产量和良率提高。

特点

高产量
通过减少异常放电可以输入更高功率
基板损伤减少
能够减少电弧引起的基板损
控制基板的问题
与RF溅射相比，可以降低基板温度
简单的连接性
可以连接到现有设备
可变的反向脉冲频率
A2KH-25/50：1kHz ～ 20kHz、A2K-20K/40K：1kHz ～ 50kHz范围内可使用
脉冲同步系统
可以输出多个A2K单元的同步脉冲 *2 *3
主从连接可实现大容量
A2K-20K、40K最多可以6台并联运行

应用：脉冲同步系统

当同一个腔室内阴极互相靠近相对，或者，当多个A2K放电彼此干扰时。通过使用相位控制功能，可以使A2K的反向脉冲同相并防止放电干扰。*3 *4

*1：可以与弊社DC电源连接
*2：使用A2KH-25,50，A2K-20K，40K不能执行脉冲同步和并行操作。
*3：A2KH-25/50需要外部同步单元（PHSM / PHSS）
*4：A2K-20K / 40K需要光同步电缆（Pulse link cable）

用途

FPD用反应溅射设备
工业涂层用反应溅射设备
彩色TFT用反应溅射设备

规格

Model		A2KH-25	A2KH-50	A2K-20K	A2K-40K
Control power input	Input	AC90 to 110V		AC100 to 240V
	Frequency	Single phase　50/60Hz
	Power	100VA	120VA	400VA
	Leak current	1mA or less
Input specification	Operating voltage	-100 to -800V
	Operating current	0 to 25A	0 to 50A	0 to 50A	0 to 100A
	Input structure	Connector connection	Terminal block or connector connection	Connector connection
Output specification	Pulse range	5μs/10μs ( Internal switch switching )		1 to 18μs (There is a frequency limitation)
	Oscillating frequency	・Pulse range　5μs：　2,5,10,15,20kHz ・Pulse range　10μs：　1,2.5,5,7.5,10kHz		1 to 50KHz Variable in 1KHz increments
	Inversion pulse voltage	10 to 20％ of the DC power generator output voltages. ( It depends on a load impedance )
Withstand voltage	Continuous operation	-1500Vdc
Parallel operation		Nothing		Up to 6units can be controlled *5
Cooling method		Forced air-cooling
Dimension（W×D×H)		238×450×149mm	430×450×149mm	483×630×177mm
Weight		16kg	27kg	30kg	45kg
Applicable standard		RoHs

Ambient operating temperature 5℃ to 40℃ (no condensation)
Operating environment: Avoid direct sunlight, heat, dust, vibration, and without corrosive gas.
*5： A2K-20K and A2K-40K cannot be used together.

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可选部件・消耗品

特点

高产量
通过减少异常放电可以输入更高功率

基板损伤减少
能够减少电弧引起的基板损

控制基板的问题
与RF溅射相比，可以降低基板温度

简单的连接性
可以连接到现有设备

可变的反向脉冲频率
A2KH-25/50：1kHz ～ 20kHz、A2K-20K/40K：1kHz ～ 50kHz范围内可使用

脉冲同步系统
可以输出多个A2K单元的同步脉冲 *2 *3

主从连接可实现大容量
A2K-20K、40K最多可以6台并联运行

应用：脉冲同步系统

当同一个腔室内阴极互相靠近相对，或者，当多个A2K放电彼此干扰时。通过使用相位控制功能，可以使A2K的反向脉冲同相并防止放电干扰。*3 *4

规格

Model		A2KH-25	A2KH-50	A2K-20K	A2K-40K
Control power input	Input	AC90 to 110V		AC100 to 240V
	Frequency	Single phase　50/60Hz
	Power	100VA	120VA	400VA
	Leak current	1mA or less
Input specification	Operating voltage	-100 to -800V
	Operating current	0 to 25A	0 to 50A	0 to 50A	0 to 100A
	Input structure	Connector connection	Terminal block or connector connection	Connector connection
Output specification	Pulse range	5μs/10μs ( Internal switch switching )		1 to 18μs (There is a frequency limitation)
	Oscillating frequency	・Pulse range　5μs：　2,5,10,15,20kHz ・Pulse range　10μs：　1,2.5,5,7.5,10kHz		1 to 50KHz Variable in 1KHz increments
	Inversion pulse voltage	10 to 20％ of the DC power generator output voltages. ( It depends on a load impedance )
Withstand voltage	Continuous operation	-1500Vdc
Parallel operation		Nothing		Up to 6units can be controlled *5
Cooling method		Forced air-cooling
Dimension（W×D×H)		238×450×149mm	430×450×149mm	483×630×177mm
Weight		16kg	27kg	30kg	45kg
Applicable standard		RoHs