异常放电防止单元
A2K 系列
A2K-40K
ULVAC
A2K系列是在反应性溅射工艺中，在DC电源输出上脉冲施加正电压，中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电的附加单元。
能在原来的电源上简单的追加，低成本实现产量和良率提高。
能在原来的电源上简单的追加，低成本实现产量和良率提高。
特点
- 高产量
通过减少异常放电可以输入更高功率 - 基板损伤减少
能够减少电弧引起的基板损 - 控制基板的问题
与RF溅射相比，可以降低基板温度 - 简单的连接性
可以连接到现有设备 - 可变的反向脉冲频率
A2KH-25/50：1kHz ～ 20kHz、A2K-20K/40K：1kHz ～ 50kHz范围内可使用 - 脉冲同步系统
可以输出多个A2K单元的同步脉冲 *2 *3 - 主从连接可实现大容量
A2K-20K、40K最多可以6台并联运行
应用：脉冲同步系统
当同一个腔室内阴极互相靠近相对，或者，当多个A2K放电彼此干扰时。通过使用相位控制功能，可以使A2K的反向脉冲同相并防止放电干扰。*3 *4
*1：可以与弊社DC电源连接
*2：使用A2KH-25,50，A2K-20K，40K不能执行脉冲同步和并行操作。
*3：A2KH-25/50需要外部同步单元（PHSM / PHSS）
*4：A2K-20K / 40K需要光同步电缆（Pulse link cable）
用途
- FPD用反应溅射设备
- 工业涂层用反应溅射设备
- 彩色TFT用反应溅射设备
规格
| Model | A2KH-25 | A2KH-50 | A2K-20K | A2K-40K | |
| Control power input | Input | AC90 to 110V | AC100 to 240V | ||
| Frequency | Single phase 50/60Hz | ||||
| Power | 100VA | 120VA | 400VA | ||
| Leak current | 1mA or less | ||||
| Input specification | operating voltage | -100 to -800V | |||
| operating current | 0 to 25A | 0 to 50A | 0 to 50A | 0 to 100A | |
| Input structure | Connector connection | Terminal block or connector connection | Connector connection | ||
| Output specification | Pulse range | 5μs/10μs ( Internal switch switching ) | 1 to 18μs (There is a frequency limitation) | ||
| Oscillating frequency | ・Pulse range 5μs： 2,5,10,15,20kHz ・Pulse range 10μs： 1,2.5,5,7.5,10kHz |
1 to 50KHz Variable in 1KHz increments |
|||
| Inversion pulse voltage | 10 to 20％ of the DC power generator output voltages. ( It depends on a load impedance ) | ||||
| Withstand voltage | continuous operation | -1500Vdc | |||
| Parallel operation | Nothing | Up to 6units can be controlled *5 | |||
| Cooling method | Forced air-cooling | ||||
| Dimension（W×D×H) | 238×450×149mm | 430×450×149mm | 483×630×177mm | ||
| Weight | 16kg | 27kg | 30kg | 45kg | |
| Applicable standard | RoHs | ||||
Ambient operating temperature 5℃ to 40℃ (no condensation)
Operating environment: Avoid direct sunlight, heat, dust, vibration, and without corrosive gas.
*5： A2K-20K and A2K-40K cannot be used together.
