打印・
保存产品手册
保存产品手册
大容量DC电源
DC-10-D
アルバック
DC-10-D和DC-20-D是用于溅射的直流电源，输出功率为10kW和20kW。它由可靠的部件和电路组成，是一种非常可靠的电源，最适合于等离子体负载，反映了爱发科多年来在电源设计中积累的技术诀窍。
特点
- 丰富的高性能选项
- 轻巧且节省空间的设计
- 800V和1000V的电压输出范围
- 适应于等离子体的输出控制
- 强制空气冷却系统，无需冷却水
- 配备出色的ARC功能和高速ARC断路器
- 可最多12台设备并联运行（240kW）
- 符合RoHS、CE、SEMI-F47标准
用途
- FPD溅射设备
- 半导体溅射设备
- 电子元器件溅射设备
- 工业涂层溅射设备
规格
| Model | DC-10-D | DC-10-DH | DC-20-D | DC-20-DH | |
| Input | Input voltage | AC208V | |||
| Variation range | AC187V~229V | ||||
| Number of phase/ Frequency |
Three phase for 50/60Hz | ||||
| Input connection | Connector | ||||
| Input capacity | 13.5kVA or less | 25kVA or less | |||
| Output | Rated power | 10kW | 20kW | ||
| Rated current | 25A | 18A | 50A | 40A | |
| Rated voltage | 800V | 1000V | 800V | 1000V | |
| ARC control | If ARC is detected, the inverter is stopped and LARC separates the load side | ||||
| Output connection | Connector | ||||
| Control | Output control system | Constant power control/ Constant current control / Constant voltage control control (V control) |
|||
| Control accuracy *1 | 1 to 10% of rated power : ±5% or less of set value 10-100% of rated power : The higher of ±0.5% or less of the rated output or ±1% of the set value |
||||
| Guaranteed control range *2 | Constant power control: 10 to 100% of the rated power value(Option：1-100%) | ||||
| Parallel operation *3 | MAX 12 unit | ||||
| Control mode system | LOCAL control / USER control / SERIAL communication control (RS232C or RS485)/EtherCAT *4 | ||||
| Colling | Air cooling | ||||
| Dimensions | 483mm（W）×630mm（D）×133mm（H） | ||||
| Mass | 29kg | 36kg | |||
| Standard | RoHS、CE、SEMI F47 | ||||
工作温度 5-40°C
使用环境：室内在海拔1000米以下，无阳光直射和腐蚀性气体。
*1：选项：保证额定值1-10%范围内的精度。
*2：有输出电压下限和输出电流下限。也可以通过选项保证1%以上。
*3：800V规格和1000V规格无法组合。
*4：EtherCAT可选。
使用环境：室内在海拔1000米以下，无阳光直射和腐蚀性气体。
*1：选项：保证额定值1-10%范围内的精度。
*2：有输出电压下限和输出电流下限。也可以通过选项保证1%以上。
*3：800V规格和1000V规格无法组合。
*4：EtherCAT可选。
可选功能
销售四个升级包，以满足客户的需求。具有其他品牌DC电源所不具备的独特且高性能的功能，能够解决客户亟待解决的工艺问题，提高薄膜性能。
1. ｈigh performance RAMP
通过控制放电前的输出（点火操作），可以抑制放电开始时的输出跳变，在放电后立即获得稳定状态的功能。
直流电源中的RAMP功能通常用于放电后的输出控制。而我们专注于放电前的输出控制。放电后进行输出控制，可能无法立即获得稳定的放电状态。此新功能通过放电前的输出控制（点火操作），可以抑制放电开始时瞬时增加的功率，从而稳定放电。
2. High control accuracy
实现了高精度输出和可靠的连续重复性。
设定输出的保证值范围在标准值的10%~100%的范围内，低于10%在非保证范围内，但是追加了升级包的设备的保证值从1%开始保证。此外，即使在重复数千或数万次开/关的过程中，输出变化也很小，并且可以保持高可重复性。
Output repeatability（σ：0.74W）
3. High Speed ARC handing
新的 ARC 控制功能，可实现世界领先的 5μ秒ARC切断时间。
直流电源在感应到异常放电时会瞬间切断输出，但如果该切断时间太长，则可能无法恢复放电。本升级包的功能可最大限度地缩短切断时间，便于维持放电，实现工艺稳定。另外，短切断时间也可以缩短成膜材料清洗的预溅射时间。
4. Superior performance ARC handing
DC电源自身判断异常放电水平并决定切断的时间，能够执行最佳的保护功能。
一般的直流电源只能进行1种模式的切断设定。但是，其切断往往不适合当时的状况，之后的成膜工艺效率也会降低，有时会马上再次发生异常放电而反复切断。此新功能通过DC电源自身判断异常放电水平并决定切断的时间，可以降低异常放电的复发概率，实现成膜工艺的效率化。这些功能升级包可以单独或多个同时添加到DC电源中。
自动判断ARC截止时间
寸法図
