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小容量DC电源
DC-4
アルバック
DC-2和DC-4是2kW和4kW输出功率的溅射用DC电源。
通过高控制精度重复再现性、实现高品质工艺。
通过高控制精度重复再现性、实现高品质工艺。
特点
- 高控制精度
即使在10％或更低的低功率区域内，也可以实现设定值±1％的高精度输出 - 宽精度保证
1～100%的宽功率精度保证 - 重量轻・节省空间
轻巧，节省空间的设计，安装更方便 - 不需要冷却水
强制空冷系统，不需要冷却水。 - 高可靠性
作为设备制造商的经验累积成果。
用途
- R&用于溅射设备 ・各种成膜设备的偏压电源
规格
| Model | DC-2 | DC-4 | |
| Input specification | Rated input voltage | AC208V/220V | |
| Input voltage fluctuation range | 180 to 242VAC | ||
| Phase, frequency | Three phase, 50/60Hz | ||
| Input capacity | 3.5kVA | 6.2kVA | |
| Output specification | Maximum rated power | 2kW | 4Kw |
| Rated current | 5A | 10A | |
| Rated voltage | 800V | ||
| Output polarity | Negative polarity | ||
| Abnormal discharge control | Shutoff by inverter stop or stop by resonance | ||
| Control | Control method | Constant power control (P control) / Constant current control (I control) /Constant voltage control (V control) | |
| Control precision | ±1％ of set point (In our prescriptive resistance value.) | ||
| Control compensation range | Constant power control, 1 to 100％ of rated power value | ||
| Parallel operation | Nothing | ||
| Interface | Analog/Degital,RS-232C or RS-485 | ||
| Cooling method | Forced air-cooling | ||
| Dimension（W×D×H） | 241mm×610mm×133mm（excluding protrusions） | ||
| Weight | 15kg | ||
| Applicable standard | CE/SEMI F47/RoHS | ||
Ambient operating temperature 5℃ ～ 40℃（no condensation）
Operating environment: Avoid direct sunlight, heat, dust, vibration, and without corrosive gas.
