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小容量DC电源
DCS 系列
DCS0052B
ULVAC
溅射用DC电源DCS系列，基本的性能自不必说，更是高性价比，并且使用领域广泛。
同时，与异常放电防止单元(A2K)组合，在反应性溅射中也能充分发挥其威力。
同时，与异常放电防止单元(A2K)组合，在反应性溅射中也能充分发挥其威力。
特点
- 输出可控性提高（可在额定值的1到100％范围内操作）
- 无需切换也能实现宽范围输出
- 标准配备2种异常放电检测功能
- 隔离外部噪音控制（可选）
- 可以选择三种操作模式（恒定功率，恒定电流，恒定电压）
- 浮动高达+100 V
用途
- 用于Al,Ni等金属溅射用和偏压DC电源
规格
| Model | DCS0052B | |
| Maximum output power | 500W | |
| Output range | Power | 5W～500W |
| Voltage | 80V～800V | |
| Current | 0.0012A～1.25A | |
| External dimensions (WDH) mm | 240 x 450 x 99 | |
| Weight | 9kg | |
