小容量DC电源

DCS 系列

DCS0052B

アルバック

溅射用DC电源DCS系列,基本的性能自不必说,更是高性价比,并且使用领域广泛。
同时,与异常放电防止单元(A2K)组合,在反应性溅射中也能充分发挥其威力。

特点

  • 输出可控性提高(可在额定值的1到100%范围内操作)
  • 无需切换也能实现宽范围输出
  • 标准配备2种异常放电检测功能
  • 隔离外部噪音控制(可选)
  • 可以选择三种操作模式(恒定功率,恒定电流,恒定电压)
  • 浮动高达+100 V

用途

  • 用于Al,Ni等金属溅射用和偏压DC电源

规格

Model DCS0052B
Maximum output power 500W
Output range Power 5W~500W
Voltage 80V~800V
Current 0.0012A~1.25A
External dimensions (WDH) mm 240 x 450 x 99
Weight 9kg

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