小容量DC电源
DCS 系列
DCS0052B
アルバック
溅射用DC电源DCS系列,基本的性能自不必说,更是高性价比,并且使用领域广泛。
同时,与异常放电防止单元(A2K)组合,在反应性溅射中也能充分发挥其威力。
同时,与异常放电防止单元(A2K)组合,在反应性溅射中也能充分发挥其威力。
特点
- 输出可控性提高(可在额定值的1到100%范围内操作)
- 无需切换也能实现宽范围输出
- 标准配备2种异常放电检测功能
- 隔离外部噪音控制(可选)
- 可以选择三种操作模式(恒定功率,恒定电流,恒定电压)
- 浮动高达+100 V
用途
- 用于Al,Ni等金属溅射用和偏压DC电源
规格
Model | DCS0052B | |
Maximum output power | 500W | |
Output range | Power | 5W~500W |
Voltage | 80V~800V | |
Current | 0.0012A~1.25A | |
External dimensions (WDH) mm | 240 x 450 x 99 | |
Weight | 9kg |