水晶式成膜控制器
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晶体薄膜沉积控制器CRTM系列是基于丰富的经验开发的产品。特别是CRTM-R1系列采用独特的“阻抗法”来提高膜厚测量性能。这使得成膜过程更加稳定并提供高质量的成膜。对于有机工艺，如果使用专用机CRTM-R1-EL，则可以实现长期稳定的成膜。
水晶式成膜控制器
CRTM-R1
荣获2022年度日本真空工业协会"真空元件/零件/材料奖"
CRTM-R1是基于ULVAC多年培育的技术开发的水晶式成膜控制器。通过采用新的测量方法，我们实现了速率稳定性和比以前的型号更高的分辨率。它可用于从金属薄膜到光学薄膜的各种气相沉积工艺。
水晶式成膜控制器
CRTM-R1-EL
荣获2022年度日本真空工业协会"真空元件/零件/材料奖"
CRTM-R1-EL 是一款水晶式成膜控制器，针对有机 EL 沉积工艺和钙钛矿太阳能电池沉积工艺进行了优化。
采用了一种新的测量方法来实现高分辨率并显着提高速率稳定性。
