水晶振荡式成膜控制器

CRTM 系列

CRTM-6000G

アルバック

CRTM-6000G水晶振荡式成膜控制器,具有优异的膜厚及成膜速度分辨能力。
尺寸紧凑,可以对应低速率控制和最多99层的多层膜连续蒸发控制。

特点

  • 优异的膜厚和成膜速率分辨率,在成膜速率低时也可以进行控制
  • 125 ms的快速采样率可以很好地控制
  • 可实现多层膜厚控制,最多可达99层
  • 标准配有RS232C通信
  • 最多可连接2个单传感器(可切换)
  • 配备可编程数字输入/输出(各12ch)和模拟输出(3ch)

用途

  • 蒸发时的膜厚及速率控制

规格

Film thickness/rate resolution 0.041 A (5 MHz)
0.029 A (6 MHz)
Film thickness display range / display resolution/td> 0.001kA : 0 to 9.999kA
0.01kA : 10 to 99.99kA
0.1kA : 100 to 999.9kA
Deposition rate display range / display resolution 0.001A/s : 0 to 9.999A/s
0.01A/s : 10 to 99.99A/s
0.1A/s : 100 to 999.9A/s
Supported sensor frequency 5MHz, 6MHz
Number of sensors that can be attached Single sensor::2(The simultaneous measurement cannot be done. It is a switch type. )
Multi sensor:1
Sampling rate 125ms
Number of multilayer film layers supported 99 layers
Number of deposition programs 99
Digital I/O Input : 12channels programmable
Output : 12channels programmable
Analog outputs 3ch programmable
External dimensions W×D×H 240mm x 350mm x 99mm

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