CRTM-6000G

アルバック

CRTM-6000G水晶振荡式成膜控制器，具有优异的膜厚及成膜速度分辨能力。
尺寸紧凑，可以对应低速率控制和最多99层的多层膜连续蒸发控制。

特点

优异的膜厚和成膜速率分辨率，在成膜速率低时也可以进行控制
125 ms的快速采样率可以很好地控制
可实现多层膜厚控制，最多可达99层
标准配有RS232C通信
最多可连接2个单传感器（可切换）
配备可编程数字输入/输出（各12ch）和模拟输出（3ch）

用途

蒸发时的膜厚及速率控制

规格

Film thickness/rate resolution	0.041 A (5 MHz) 0.029 A (6 MHz)
Film thickness display range / display resolution/td>	0.000～99.99 μm(0.000～999.9 kÅ)
Deposition rate display range / display resolution	0.01～99.99 nm/s(0.1～999.9 Å/s)
Supported sensor frequency	5MHz, 6MHz
Number of sensors that can be attached	Single sensor:：2(The simultaneous measurement cannot be done. It is a switch type. ) Multi sensor：1
Sampling rate	125ms
Number of multilayer film layers supported	99 layers
Number of deposition programs	99
Digital I/O	Input : 12channels programmable Output : 12channels programmable
Analog outputs	3ch programmable
External dimensions W×D×H	240mm x 350mm x 99mm

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可选部件・消耗品

水晶振荡式成膜控制器

水晶振动子 UCR-5MAG-12 水晶振动子 UCR-5MAU-12 水晶振动子 UCR-4MAG-12 振荡器和电缆组件 OSC-12BG 4m 振荡器和电缆组件 OSC-12BG 8m 振荡器和电缆组件 OSC-12BG 12m 振荡器和电缆组件 OSC-12BG 16m 振荡器和电缆组件 OSC-12BG 20m 振荡器和电缆组件 OSC-12DG 4m 振荡器和电缆组件 OSC-12DG 8m 振荡器和电缆组件 OSC-12DG 12m 振荡器和电缆组件 OSC-12DG 16m 振荡器和电缆组件 OSC-12DG 20m

特点

优异的膜厚和成膜速率分辨率，在成膜速率低时也可以进行控制

125 ms的快速采样率可以很好地控制

可实现多层膜厚控制，最多可达99层

标准配有RS232C通信

最多可连接2个单传感器（可切换）

配备可编程数字输入/输出（各12ch）和模拟输出（3ch）

规格

Film thickness/rate resolution	0.041 A (5 MHz) 0.029 A (6 MHz)
Film thickness display range / display resolution/td>	0.000～99.99 μm(0.000～999.9 kÅ)
Deposition rate display range / display resolution	0.01～99.99 nm/s(0.1～999.9 Å/s)
Supported sensor frequency	5MHz, 6MHz
Number of sensors that can be attached	Single sensor:：2(The simultaneous measurement cannot be done. It is a switch type. ) Multi sensor：1
Sampling rate	125ms
Number of multilayer film layers supported	99 layers
Number of deposition programs	99
Digital I/O	Input : 12channels programmable Output : 12channels programmable
Analog outputs	3ch programmable
External dimensions W×D×H	240mm x 350mm x 99mm