水晶振荡式成膜控制器

CRTM 系列

CRTM-9200

アルバック

CRTM-9200作为CRTM-9100G的后继机,继承了前机型的功能和设计,维持了兼容性。
优秀的膜厚及成膜速率分辨能力(0.0022A),是实现了低速率蒸发控制和高精度的膜厚控制的水晶振荡式成膜控制器。
最多可同时控制4个蒸发源。

特点

  • 优异的膜厚和速率分辨率(0.0022A)使其成为低速蒸发成膜控制的理想选择。
  • 可以同时控制4个蒸发源。 (添加选项时)
  • 可实现多层膜厚控制,最多可达99层。
  • 程序可以保存到USB中。
  • 通过使用多层计算功能(MLC功能)对于在石英板上的多层成膜,可以精确地测量膜厚度。

用途

蒸发时的膜厚及速率控制

规格

Film thickness/rate resolution 0.0034 A (4MHz crystal)
0.0022 A (5MHz crystal)
0.0015 A (6MHz crystal)
Film thickness display range/display resolution 0.001kA : 0 to 9.999kA
0.01kA : 10 to 99.99kA
0.1kA : 100 to 999.9kA
Deposition rate display range/display resolution 0.001A/s : 0 to 9.999A/s
0.01A/s : 10 to 99.99A/s
0.1A/s : 100 to 999.9A/s
Supported sensor frequency 4MHz, 5MHz, 6MHz
Number of sensors that can be attached 2 (up to 8 with option)
Sampling rate 250ms
Number of multilayer film layers supported 99 layers
Number of deposition programs 128
Digital I/O input : 12 channels programmable
output : 16 channels programmable
Analog outputs POWER (0 to 0.99 V) (RATE and THK are option.)
External dimensions (W x D x H; mm) 480 x 300 x 149

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