CRTS-M6

アルバック

CRTS-M6是为水晶振荡式成膜控制器CRTM系列开发的回转式多传感器。
可以搭载5MHz或者6MHz的水晶振荡片6枚，连续蒸发也可放心使用。

特点

可搭载6枚5MHz或6MHz的水晶振动子
使用了真空电机的独特驱动方式实现了高可靠性
水晶震动子的更换非常方便
当检测到水晶振动子振荡异常时，可以自动进行水晶振动子切换（当CRTM系列用作控制器时）
由于传感器头很小（直径50mm），可以灵活地连接到成膜系统。

用途

光学、光通信部品的蒸发
有机物的蒸发
电子部品,其他蒸发

规格

Sensor head
Equipped crystal number	6 pieces
Capacity of crystal	4MHz, 5MHz or 6MHz(Selectable) AT cut crystal
Heat resistance temperature	350℃
Cooling water volume	1L / min
Weight	1kg
Dimension	Φ50mm x H 約89mm

Controller
Digital input	INIT, CNT, STOP
Digital output	Sensor No., BUSY, ERROR, RETRY, END
Utility	DC24V, 3.0A
Dimension W×D×H	100mm x 252mm x 99mm

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可选部件・消耗品

水晶振荡式成膜控制器

水晶振动子 UCR-5MAG-12 水晶振动子 UCR-5MAU-12 水晶振动子 UCR-4MAG-12 振荡器和电缆组件 OSC-12BG 4m 振荡器和电缆组件 OSC-12BG 8m 振荡器和电缆组件 OSC-12BG 12m 振荡器和电缆组件 OSC-12BG 16m 振荡器和电缆组件 OSC-12BG 20m 振荡器和电缆组件 OSC-12DG 4m 振荡器和电缆组件 OSC-12DG 8m 振荡器和电缆组件 OSC-12DG 12m 振荡器和电缆组件 OSC-12DG 16m 振荡器和电缆组件 OSC-12DG 20m

特点

可搭载6枚5MHz或6MHz的水晶振动子

使用了真空电机的独特驱动方式实现了高可靠性

水晶震动子的更换非常方便

当检测到水晶振动子振荡异常时，可以自动进行水晶振动子切换（当CRTM系列用作控制器时）

由于传感器头很小（直径50mm），可以灵活地连接到成膜系统。

规格

Sensor head
Equipped crystal number	6 pieces
Capacity of crystal	4MHz, 5MHz or 6MHz(Selectable) AT cut crystal
Heat resistance temperature	350℃
Cooling water volume	1L / min
Weight	1kg
Dimension	Φ50mm x H 約89mm

Controller
Digital input	INIT, CNT, STOP
Digital output	Sensor No., BUSY, ERROR, RETRY, END
Utility	DC24V, 3.0A
Dimension W×D×H	100mm x 252mm x 99mm