水晶振动子

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UCR 系列晶体板非常适合精确的膜厚测量，因为它们最大限度地减少了蒸发源等热源的影响，并且个体差异很小。对于有机材料，我们使用采用我们自己的专利技术制造的4MHz晶体板，以支持低速率控制。这使得精确的成膜过程成为可能，并有助于提高质量。

水晶振动子

UCR-4MAG-12

与ULVAC的水晶振荡式成膜控制器用传感器对应的水晶板·UCR系列。
世界首创的4MHz频率式样加入系列产品阵容，出色的温度特性，也可对应有机材料膜。

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UCR-5MAU-12

与ULVAC的水晶振荡式成膜控制器用传感器对应的水晶板·UCR系列。

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UCR-5MAG-12

与ULVAC的水晶振荡式成膜控制器用传感器对应的水晶板·UCR系列。

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UCR-6MAU-12

与ULVAC的水晶振荡式成膜控制器用传感器对应的水晶板·UCR系列。

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