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EB电源
HPS 系列
HPS-510S
ULVAC
ULVAC多年的技术积累和实际成果、具备稳定的回路和高性能的EB電源。
配合EB枪控制器EGC-10GS使用、能对应光学薄膜和金属薄膜用EB枪。
配合EB枪控制器EGC-10GS使用、能对应光学薄膜和金属薄膜用EB枪。
特点
- 不需要冷却水
强制空冷系统，不需要冷却水 - 可靠性高
作为设备制造商经验积累的成果 - 简易的操作性
操作面板使用液晶触摸屏，操作性得到提升。 - 扫描波形变化
可以在操作屏幕上创建各种光束扫描形式 - 高速电弧中断功能
通过高速电弧中断最大限度地减少成膜率 - 低水平电弧控制功能（光学应用可选）
控制光学应用中所产生的微小电弧以实现稳定的成膜
用途
- 金属膜用真空沉积
规格
| Model | HPS-510S | HPS-1600F -S100 |
HPS-1600F -S200 |
HPS-1600F -S101 |
|
| Input specification | Input voltage | Three phase, AC190～231V | |||
| Input capacity | 7kVA | 21kVA | 22kVA | 21kVA | |
| Output specification | Rated output power | 5kW | 16kW | ||
| Voltage | -4k～-10kV | ||||
| Ripple rate | 2％p-p or less (at rated power) | ||||
| Beam current | 0～500mA | 0～1600mA | |||
| Cooling method | Forced air-cooling | ||||
| Dimensions W×D×H |
Power Supply | 480×620×300mm | 500×700×710mm | ||
| Gun Controller | 480×480×149mm | ||||
| Weight | Power Supply | 50kg | 113kg | 136kg | 113kg |
| Gun Controller | 20kg | 17kg | |||
