电子枪

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用于EB蒸镀的电子枪(电子束枪)是一种利用电子束对材料进行加热和蒸发的设备。与传统的电阻加热相比,它能够达到更高的温度,因此可以有效地蒸发高熔点材料。此外,其高精度和均匀薄膜形成的能力也是其主要特点之一。爱发科(ULVAC)提供了多种适用于不同用途的电子枪(电子束枪)产品系列。
电子枪(电子束枪)在EB蒸镀工艺中起核心作用,并承担以下功能:电子枪(电子束枪)在EB蒸镀工艺中起核心作用,并承担以下功能:
电子束的生成电子枪发射高能电子束。材料的加热发射的电子束照射到蒸镀材料(如金属或氧化物)上,材料通过吸收能量被局部加热到高温。材料的蒸发被加热的材料蒸发并在真空腔室内扩散。薄膜的形成蒸发的材料在基板表面沉积,形成均匀且高质量的薄膜。我们提供多种类型的电子枪,以满足客户不同的应用和工艺需求。如需选择最合适的电子枪,欢迎随时与我们联系,我们将为您提供专业支持。
平顶型_用于金属的EB源_EGN系列
EGN系列是基于多年的技术积累和实践成果开发的高性能、高可靠性的电子枪(电子束枪)。采用平顶结构,可将镀膜对设备的影响降至最低,同时确保出色的维护性。此外,稳定地保持了二次电子吸收机制的性能。
因此,EGN系列在广泛的应用领域中表现出卓越的性能,为提升电子束蒸发工艺的效率和质量做出了重要贡献。

实验室_用于金属的EB源_EGK系列
爱发科(ULVAC)EGK系列电子枪(电子束枪)基于公司多年来积累的技术和经验,实现了性能和可靠性的提升。本产品非常适合用于实验和小规模生产。

实验室_用于金属的EB源_EGK系列
EGK系列
EGK-3 电子束蒸发源是 ULVAC 多年技术积累和业绩记录的结果,旨在提高性能和可靠性。
该蒸发源有一个最大输入功率为 5 kW 的炉膛。
坩埚容量为 2.6cc,适用于实验和小规模生产。
用于金属的EB源_EGL系列
爱发科(ULVAC)EGL系列电子枪(电子束枪)基于公司多年来积累的技术和经验,提升了设备的性能和可靠性。本产品非常适合从小规模到大规模的生产,尤其是在金属蒸镀工艺中表现出色。

用于金属的EB源_EGL系列
EGL系列
EGL 系列电子束蒸发源是 ULVAC 多年技术积累和业绩记录的结果,旨在提高性能和可靠性。 EGL 系列拥有各种类型的喷枪阵容,可用于任意多层薄膜沉积、厚膜的高速沉积和超高真空实验。
用于光学的EB光源_EGO系列
用于EB蒸?的?子?(?子束?)是一?利用?子束?材料?行加?和蒸?的??。与??的?阻加?相比,它能??到更高的温度,因此可以有效地蒸?高熔点材料。此外,其高精度和均匀薄膜形成的能力也是其主要特点之一。??科(ULVAC)提供了多??用于不同用途的?子?(?子束?)?品系列。

EB源_选配
针对爱发科(ULVAC)电子枪(电子束枪),我们提供高压引入端子、电流引入端子、接地端子、真空监测器以及水冷引入端子等选项。您可以根据需求选择合适的选项。
