可根据需求选择的电子枪选配件
电子枪
EB源_选配
为可选辅助设备
ULVAC
关于为可选辅助设备的介绍、购买、商讨
以下为可选辅助设备。 请根据您的需求进行选择。
所需辅助设备清单
| 零件名称 | 型 | EGN-206M/406M | EGK-3/3M | EGL-103S | EGL-35 | EGL-35M | EGL-110 | EGL-80M | EGO-1G | EGO-40M |
| 高压感应端子 | BERH311A | 2 | 2 | （*1） | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 电流引入端子 | PTS-004 | 2 | 1 | （*1） | 1 | 2 | 1 | 1（*2） | 1 | 2 |
| 接地端子 | ERZ-003 | 1 | 1 | （*1） | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 真空检查器 | DTA-002 | 1 | 1 | - | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 水冷式入口端子 | DK5203-045(*3) | 4 | 2 | - | 2 | 2 | - | 2 | 2 | 2 |
| DK5203-046(*4) | - | 2 | - | - | 2 | - | - | - | - | |
| DK5203-047(*5) | - | - | - | - | - | 2 | - | - | - | |
| DK5203-048(*6) | - | - | - | - | - | - | 2 | - | - |
*2：心脏定位器的电流引入端子是PTS-004，但线圈驱动的电流引入端子是3P-16A。
*3：真空侧：管道外径 Φ10 / 大气侧：管道外径 1/2 英寸
*4：真空侧：管道外径 Φ6 / 大气侧：管道外径 1/4 英寸
*5：真空侧：管道外径 Φ12 / 大气侧：管道外径 1/2 英寸
*6：真空侧：管道外径 1/2 英寸 / 大气侧：管道外径 1/2 英寸
