电子枪
用于光学的EB光源_EGO系列
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用于光学的EB光源_EGO系列の導入・購入・検討について
用于EB蒸?的?子?（?子束?）是一?利用?子束?材料?行加?和蒸?的??。与??的?阻加?相比，它能??到更高的温度，因此可以有效地蒸?高熔点材料。此外，其高精度和均匀薄膜形成的能力也是其主要特点之一。??科（ULVAC）提供了多??用于不同用途的?子?（?子束?）?品系列。
爱发科（ULVAC）EGO系列电子枪（电子束枪）专为光学镀膜而开发，基于铝泊多年来积累的技术和经验。本产品非常适合以光学膜蒸镀为主的小规模至大规模生产。