适用于多种实验的小型实验电子枪
电子枪
实验室_用于金属的EB源_EGK系列
Model: EGK
ULVAC
打印・
保存产品手册
保存产品手册
关于Model: EGK的介绍、购买、商讨
EGK-3 电子束蒸发源是 ULVAC 多年技术积累和业绩记录的结果，旨在提高性能和可靠性。
该蒸发源有一个最大输入功率为 5 kW 的炉膛。
坩埚容量为 2.6cc，适用于实验和小规模生产。
该蒸发源有一个最大输入功率为 5 kW 的炉膛。
坩埚容量为 2.6cc，适用于实验和小规模生产。
-
EGK-3
-
EGK-3M
特点
- 采用 2.6cc 炉膛使其适合小规模生产。
- 由于电子束被电磁场偏转，因此二次电子对沉积体的影响极小。
- 即使是可升华材料，也可以通过在 X 轴和 Y 轴方向扫描光束点来消除局部钻孔现象，并且可以顺利蒸发整个坩埚。 （日本国家专利 831485号843447）
- 电子束偏转 225°，因此不会暴露在蒸发材料的蒸气中，灯丝使用寿命长。
- 发射器组件易于安装和拆卸，便于更换灯丝、绝缘体等。
规格
| Model | EGK-3 | EGK-3M | |
| 电子束偏转角 | 225° | ||
| 坩埚数量 | 1 | 4 | |
| 坩埚容量 | 2.6cc | 2.9cc | |
| 坩埚尺寸： 顶部 × 底部× 深度 | 21Φ×15.6Φ×10H（mm） | 21Φ×17.5Φ×10H（mm） | |
| 冷却水量 | 炉边 | 8L/min 或更高 | |
| 其他 | 1L/min 或更高 | ||
| 尺寸（W×D×H）不包含突起 | 110×207×126（mm） | 140×207×126（mm） | |
| 质量 | 约4公斤 | 约5公斤 | |
| 沉积速率 | 0.5μm/min或更高 （铝 / 5kW / 炉膛正上方 250H） |
0.6μm/min或更高 （铝 / 5kW / 炉膛正上方 250H） |
|
| 最大加速电压 | -10kV | ||
| 最大发射电流 | 0.5A | ||
| 适用电源 | HPS-510S | ||
