适用于金属薄膜生产的高通用性电子枪，拥有丰富的应用实例
电子枪
用于金属的EB源_EGL系列
Model: EGL
ULVAC
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关于Model: EGL的介绍、购买、商讨
EGL 系列电子束蒸发源是 ULVAC 多年技术积累和业绩记录的结果，旨在提高性能和可靠性。 EGL 系列拥有各种类型的喷枪阵容，可用于任意多层薄膜沉积、厚膜的高速沉积和超高真空实验。
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EGL-103S
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EGL-35
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EGL-35M
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EGL-110
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EGL-80M
特点
- 由于电子束被电磁场偏转，因此二次电子对沉积体的影响极小。
- 即使是可升华的材料，也可以通过扫描 X 轴和 Y 轴上的光束点来顺利蒸发，从而消除挖洞现象。 （日本国专利 831485 号 843447）
- 电子束是 270° 偏转的，因此不会暴露在蒸发材料的蒸气中，灯丝的使用寿命长。
- 发射器组件易于安装和拆卸，便于更换灯丝、绝缘体等。
规格
| Model | EGL-103S | EGL-35 | EGL-35M | EGL-110 | EGL-80M | |
| 电子束偏转角 | 270° | |||||
| 坩埚数量 | 3 | 1 | 4 | 1 | 4 | |
| 坩埚容量 | 10cc | 40cc | 40cc ×2/10cc×2 | 110cc | ||
| 坩埚尺寸： 顶部 × 底部× 深度 | 35Φ×31Φ×11H（mm） | 50Φ×41Φ×25H（mm） | 50Φ×41Φ×25H（mm）/32Φ×24Φ×15H（mm） | 75Φ×59Φ×32H（mm） | 75Φ×57Φ×32H（mm） | |
| 冷却水量 | 炉边 | 10L/min 或更高 | 19L/min 或更高 | 20L/min 或更高 | ||
| 其他 | 2L/min 或更高 | - | 2L/min 或更高 | ー | 4L/min 或更高 | |
| 尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 313×250×108（mm） | 160×206×79（mm） | 170×240×156（mm） | 136×220×90（mm） | 265×318×168（mm） | |
| 质量 | 约16公斤 | 约10公斤 | 约18公斤 | 约15公斤 | 约30公斤 | |
| 沉积速率 | - | 1.8μm/min 或更高 （Al/8kW/ハ炉膛正 上方 250H） |
1.6μm/min 或更高 （Al/8kW/炉膛正上方 250H） |
4.5μm/min 或更高 （Al/16kW/炉膛正 上方 250H） |
4μm/min 或更高 （A| 16kW,/炉膛正 上方 250H） |
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| 最大加速电压 | -10kV | |||||
| 最大发射电流 | 0.6A | 1.0A | 1.6A | |||
| 适用电源 | HPS-1000N-100/HPS-1000N-200 | HPS-1600F-DS100/HPS-1600F-DS200 | HPS-1600F-DS101 | |||
