配备先进二次电子吸收机制的平顶电子枪
电子枪
平顶型_用于金属的EB源_EGN系列
EGN系列
ULVAC
打印・
保存产品手册
保存产品手册
关于EGN系列的介绍、购买、商讨
EGN 系列是新开发的金属气相沉积电子束蒸发源，专注于提高可维护性。
采用平顶结构，减少了与电子束蒸发源的粘附面积，实现了高可维护性。
特点
- 它抑制背向散射电子并抑制衬底温度的上升
- 平顶结构减少了电子束蒸发源上的沉积面积，使其易于清洁
- 与以前的型号相比，新的发射器结构将零件数量减少到 60%，使组装更容易。
- 可以选择用于金属沉积的带状光束和用于氧化物/化合物的点光束
- 作为设备制造商积累的专有技术的反馈到设计
规格
| 型 | EGN-206M | EGN-406M | |
| 电子束偏转角 | 270° | ||
| 坩埚数量 | 6 | ||
| 坩埚容量 | 20cc | 40cc | |
| 坩埚尺寸： 顶部 × 底部× 深度 | Φ42×Φ32×19（mm） | Φ50×Φ41×25（mm） | |
| 冷却水量 | 炉边 | 10L/min 或更高 | |
| 其他 | 2L/min 或更高 | ||
| 尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 214×343×144（mm） | ||
| 重量 | 28 公斤或以下 | ||
| 沉积速率 | 1.6μm/min （带状梁 / 铝 / 8kW / 40cc 坩埚 / 炉膛正上方 250H） |
||
| 最大加速电压 | -10kV | ||
| 最大发射电流 | 0.8A | 1.0A | |
| 适用电源 | HPS-1000N-100/HPS-1000N-200 | ||
