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金属膜用EB枪
EGK 系列
EGK-3M
アルバック
EGK-3M型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。
拥有最大输入功率5kW的4个切換式坩埚。
坩埚容量为2.9cc*4个、对应任意多层膜蒸镀。
拥有最大输入功率5kW的4个切換式坩埚。
坩埚容量为2.9cc*4个、对应任意多层膜蒸镀。
特点
- 采用容量2.9cc的4点切换坩埚可实现多层成膜。
- 由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。
- 即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。
- 电子束225°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。
- 发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。
规格
| 加速电压 | -4kV～-10kV | |
| 束电流 | 0.5A MAX | |
| 最大输入功率 | 5kW（-10kV／0.5A） | |
| X轴偏转线圈 | -0.4A～-3.5A／-18V DC MAX 约2.2Ω（20℃） |
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| 灯丝 | 0～12V AC | |
| 0～40A max | ||
| 坩埚 | 数 | 4 |
| 容量 | 2.9cc | |
| 尺寸 | 21Φ×17.5Φ×10H | |
| 电子束偏向角度 | 225° | |
| 有效蒸发角度 | 90°以上 | |
| 蒸发速度 | 0.6μm/min以上 铝5kW，炉膛上方250H |
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| 冷却水量 | 坩埚 | 8L/min以上 0.7MPa（最大圧力） |
| 线圈 | 1L/min以上 0.7MPa（最大圧力） | |
| 水温 | 15～25℃ | |
| 外形尺寸 | 140W×126H×207D | |
| 重量 | 约5kg | |
| 适用电源 | HPS-510S・HPS-1000N | |
| 备注 | 建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的水。 | |
| Y轴偏转线圈（可选） | 0～±1.2A／±12VDVmax 约1.7Ω（20℃） |
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| 备注 | 建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的水。 可以连接送丝机 |
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