EGL-35

ULVAC

EGL-35型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。
拥有最大输入功率10kW的坩埚。
由于坩埚容量大，每个40cc，因此可以进行厚膜的高速蒸发。

特点

加速电压		-4kV～-10kV DC
电子束电流		MAX 1.0A（加速电压-10kV时）
最大输入功率		10kW（-10kV, 1.0A）
X轴偏转线圈		0.4～3.5A MAX-18V DC 2.8Ω（室温20℃内）
Y軸偏转线圈		0～±2A MAX±12VDCmax 6Ω×2（室温20℃内）
灯丝		0～6V AC MAX40A
坩埚	容量	40cc
	尺寸	50Φ×41Φ×25H
电子束偏向角度		270°
有蒸发角度		120°以上
蒸发速度		1.8μm/min以上（A110kW、炉膛上250H）
冷却水量		10L/min以上（最大输出0.7MPa）
水温		15～25℃
外形尺寸		110H×79W×206D
重量		10kg
适用电源		HPS-1000N, HPS-1600F
参考		1. 可以连接送丝机 2. 建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的冷却水。

EB枪・EB电源

高电压导入端子 BERH311A 电流导入端子 PTS-004 接地端子 ERZ-003 大气压确认器 DTA-002 水冷导入端子 DK5203-045

特点

采用40cc大容量锅炉，可实现大体积成膜。

由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。

即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。（日本专利831485号.843447号）

电子束270°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。

发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。

规格

加速电压		-4kV～-10kV DC
电子束电流		MAX 1.0A（加速电压-10kV时）
最大输入功率		10kW（-10kV, 1.0A）
X轴偏转线圈		0.4～3.5A MAX-18V DC 2.8Ω（室温20℃内）
Y軸偏转线圈		0～±2A MAX±12VDCmax 6Ω×2（室温20℃内）
灯丝		0～6V AC MAX40A
坩埚	容量	40cc
	尺寸	50Φ×41Φ×25H
电子束偏向角度		270°
有蒸发角度		120°以上
蒸发速度		1.8μm/min以上（A110kW、炉膛上250H）
冷却水量		10L/min以上（最大输出0.7MPa）
水温		15～25℃
外形尺寸		110H×79W×206D
重量		10kg
适用电源		HPS-1000N, HPS-1600F
参考		1. 可以连接送丝机 2. 建议使用电阻率为5kΩ·cm或更高的冷却水。