EGL-80M

ULVAC

EGL-80M型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。
拥有最大输入功率16kW的4个切换式坩埚，每个坩埚为110cc的大容量，可对应厚膜的高速蒸发。

特点

加速电压		-4kV～-10kV DC
发射电流（MAX）		1.6A（加速电压-10kV時）
最大输入功率		16kW（-10kV、1.0A）
X轴偏转线圈		2.5～16A MAX-12V DC 0.54Ω（室温20℃内）
Y轴偏转线圈		0～±2A MAX±12V DC 1.2Ω×2（室温20℃内
灯丝		0～6V AC MAX 50A
坩埚	容量（数）	110cc (4个)
	尺寸	75Φ×57Φ×32H
电子束偏向角度		270°
有效蒸发角度		100°以上
蒸发速度		4μm/min以上（A\| 16kW,坩埚真上250H）
冷却水量		坩埚：20L/min以上（MAX 7kg/cm²）线圈：4L/min以上（MAX 7kg/cm²）
水温		15～25℃
炉膛位置检测机构（可选）		接点数：NO接点　4式容量：50mA～1A MAX 50V AC
外形尺寸		318L×265W×168H
重量		30kg
适用电源		HPS-1600F（高功率规格）

EB枪・EB电源

高电压导入端子 BERH311A 电流导入端子 PTS-004 接地端子 ERZ-003 大气压确认器 DTA-002 水冷导入端子 DK5203-045

特点

采用大容量110cc的4点切换坩埚可实现多层成膜。

由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。

即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。

电子束270°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。

发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。

坩埚位置检测机构可以作为选项安装，坩埚旋转可以自动化。

规格

加速电压		-4kV～-10kV DC
发射电流（MAX）		1.6A（加速电压-10kV時）
最大输入功率		16kW（-10kV、1.0A）
X轴偏转线圈		2.5～16A MAX-12V DC 0.54Ω（室温20℃内）
Y轴偏转线圈		0～±2A MAX±12V DC 1.2Ω×2（室温20℃内
灯丝		0～6V AC MAX 50A
坩埚	容量（数）	110cc (4个)
	尺寸	75Φ×57Φ×32H
电子束偏向角度		270°
有效蒸发角度		100°以上
蒸发速度		4μm/min以上（A\| 16kW,坩埚真上250H）
冷却水量		坩埚：20L/min以上（MAX 7kg/cm²）线圈：4L/min以上（MAX 7kg/cm²）
水温		15～25℃
炉膛位置检测机构（可选）		接点数：NO接点　4式容量：50mA～1A MAX 50V AC
外形尺寸		318L×265W×168H
重量		30kg
适用电源		HPS-1600F（高功率规格）