电子枪电源

关于电子枪电源的介绍、购买、商讨
电子枪电源是支持电子束蒸镀工艺的重要系统,由以下两个主要组成部分构成:
电子枪控制器
对电子束进行精确控制,均匀加热蒸镀材料,从而支持高质量薄膜的形成。
EB电源
稳定地提供生成电子束所需的能量,确保设备的稳定运行。
通过这两个组件的密切配合,实现了电子束蒸镀工艺的高效性和稳定性。
电子枪电源在EB蒸镀工艺中起核心作用,并承担以下功能:电子枪电源在EB蒸镀工艺中起核心作用,并承担以下功能:
・电子束的生成与控制精确控制电子束的强度、位置和扫描模式,使蒸镀材料均匀加热。这确保了材料的稳定蒸发和薄膜的形成。
・高压供电与稳定化稳定提供电子枪所需的高压(通常约10kV),支持电子束的生成。通过抑制电力波动,确保整个工艺的稳定性。
・简化操作采用用户友好的界面设计,使工艺条件的设置和调整更加简便。
・+G8快速响应电弧放电在蒸镀过程中迅速检测可能发生的电弧放电,并适时调整或切断电力,提升设备和工艺的安全性。
使用ULVAC的电子枪电源,可以显著提升EB蒸镀工艺的可靠性、可重复性和生产效率。
EB源电源_HPS系列
HPS系列电子枪电源基于爱发科(ULVAC)多年积累的技术和经验,通过实现电路稳定化和性能提升,专为铝泊电子枪(电子束枪)设计。通过与EB枪控制器组合使用,该电源可同时支持光学薄膜用EB枪和金属薄膜用EB枪。

EB源电源_HPS系列
HPS系列
基于爱发科多年的技术积累和成果,该电源兼容电子束蒸发源,可稳定电路并提高性能。
当与 EGC-10GS 电子束枪控制器结合使用时,它可用于光学薄膜电子束枪和金属薄膜电子束枪。