适用于不同蒸镀用途的电子枪电源
电子枪电源
EB源电源_HPS系列
Model: HPS
ULVAC
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关于Model: HPS的介绍、购买、商讨
基于爱发科多年的技术积累和成果，该电源兼容电子束蒸发源，可稳定电路并提高性能。
当与 EGC-10GS 电子束枪控制器结合使用时，它可用于光学薄膜电子束枪和金属薄膜电子束枪。
当与 EGC-10GS 电子束枪控制器结合使用时，它可用于光学薄膜电子束枪和金属薄膜电子束枪。
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HPS-510S
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HPS-1000N
特点
- 无需冷却水
- 高可靠性
- 易用性
- 扫描波形变化
- 高速电弧关闭功能
- 强制风冷系统无需冷却水
- 作为设备制造商积累的专有技术的反馈到设计
- 操作面板采用 LCD 触摸屏，提高了可操作性。
- 可创建 XY 扫描、波形编辑、特定区域停留重量控制、圆扫描、圆形式编辑、半径、螺旋和其他各种光束扫描形式。※
- 高速电弧中断可最大限度地减少沉积速率下降
规格
| Model | HPS-510S | HPS-1000N-100 | HPS-1000N-200 | HPS-1000N-G100 | HPS-1000N-G200 | |
| 规格 | 1源 | 1源 | 2源 | 1源（光学用） | 2源（光学用） | |
| 输入规格 | 输入电压 | 3相 AC190～231V | ||||
| 输入电容 | 7kVA | 14kVA | 15kVA | 14kVA | 15kVA | |
| 输出规格 | 额定功率 | 5kW | 10kW | |||
| 电压范围 | -4k～-10kV | |||||
| 纹波率 | 2% p-p 以下 | |||||
| 束流 | 0～0.5A | 0～1.0A | ||||
| 冷却方式 | 强制风冷 | |||||
| 尺寸（W×D×H）（电源本体） 不包含突起 | 480×620×300mm | 494×701×712（mm） | ||||
| 尺寸 （W×D×H）（喷枪控制器） 不包含突起 | ー | 480.5×499×143（mm） | ||||
| 重量（电源本体） | 45 公斤 | 120 公斤 | 133 公斤 | 120 公斤 | 133 公斤 | |
| 质量（喷枪控制器） | - | 11.5公斤 | ||||
| 法规遵从性 | - | CE | ||||
| Model | HPS-1600F-DS100 | HPS-1600F-DS200 | HPS-1600F-DS101 | |
| 规格 | 1源 | 2源 | 1源(高压类型) | |
| 输入规格 | 输入电压 | 3相 AC190～231V | ||
| 输入电容 | 21kVA | 22kVA | 21kVA | |
| 输出规格 | 额定功率 | 16kW | ||
| 电压范围 | -4k～-10kV | |||
| 纹波率 | 2% p-p 以下 | |||
| 束流 | 0～1.6A | |||
| 冷却方式 | 强制风冷 | |||
| 尺寸（W×D×H）（电源本体） 不包含突起 | 500×700×710（mm） | |||
| 尺寸 （W×D×H）（喷枪控制器） 不包含突起 | 480.5×499×143（mm） | |||
| 重量（电源本体） | 113 公斤 | 120 公斤 | 113 公斤 | |
| 质量（喷枪控制器） | 11.5公斤 | 12公斤 | ||
| 法规遵从性 | - | - | - | |
