气体分析装置
升温脱离气体分析装置
TDS-M202R
ULVAC EQUIPMENT SALES
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关于TDS-M202R的介绍、购买、商讨
使用质谱仪对脱离气体定性分析，通过四极质谱仪分析红外镀金聚焦炉使试料升温时，试料温度与放出气体的关系。
特点
- 质谱分析可以在10 -5 Pa的高真空下进行测量。
- 红外灯加热，石英反应管是冷壁，几乎没有排出的气体。
- 具有从高速加热到低速加热的广泛设置范围，可实现多步加热和循环加热。
用途
- 真空油脂、O-ring等各种真空材料的评估
- 半导体晶圆，芯片评估
- 合金，陶瓷，固体材料等的微量气体分析
规格
| Temperature range | RT ～ 1000℃ |
|---|---|
| Sample size | □20 × t2 (mm) |
| Atmosphere | Vacuum |
| Heating method | Paraboloidal reflected infrared tubular heating method |
| Temperature sensor | Thermocouple (JIS “K”) |
| Ultimate vacuum | The range of 10-5 Pa (after 8-hour baking) |
| Measurement range of mass amount | 1 ～ 200amu |
| Safe guard | Cooling water • Earth leakage(ELB) |
| Sensitivity | 4A/Pa |
| Resolution | M/△M＝1M（10％ P.H.） |
