红外镀金聚焦炉/RTA装置｜热处理・热物性评估装置｜产品中心

红外镀金聚焦炉

RHL-E/VHT/P系列

通过红外线灯加热的红外镀金聚焦炉作为研究开发设备和生产设备应用于多个领域。
从高速加热到广域加热都可满足客户的需求。

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红外镀金聚焦炉

Ps,Pss系列

应用于碳纳米管的生成设备和生产设备等广泛领域。
平板面状放射型红外线加热炉可以用于Φ2in～Φ300mm的硅片退火系统和生产用烧结炉。

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程序温度控制器

TPC-5000系列

高精度对应高速加热的温调器。
本品是不仅能对应高速升温时需快速反应的红外镀金聚焦炉，也能对应低速升温炉的程序温度控制器。
高机能、高性能，结构紧凑，配件丰富，价格低廉。

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红外线灯退火设备

RTA系列

从2英寸到300mm的高速热处理。保持只需10秒。
集结高速加热技术，从研发到生产，提供符合客户需求的设备。
也可对应最高温度1450℃高温下的加热。

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红外线灯加热设备

RTP-6

最大6英寸的灯管退火设备。
用于个别半导体工艺的硅化物形成和化合物半导体的工艺退火。

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红外线灯加热设备

QHC系列 / VHC系列

用于从太阳能电池到化合物半导体等的工艺开发。
QHC系列是组合了红外镀金聚焦炉和温度控制器，更加紧凑地装备了石英热处理腔体的高速加热·高速冷却设备。
在个人电脑上能进行加热操作简单地数据管理。
加热操作可在电脑上进行，可轻松进行数据管理。

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桌上型灯加热设备

MILA-5050

本设备是可以对尺寸为50*50毫米的试料进行热处理的桌上型灯加热设备。
MILA-5000（对应20*20毫米的试料）系列自上市以来，一直受到广大客户的喜爱。
应客户需求，开发了可以对50*50毫米试料进行热处理的，拥有将加热炉、腔体、温度控制器一体化的紧凑机身的本机型。

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桌上型灯加热设备

MILA-5000系列

最适合小样品的研究开发。可进行高速加热、高速冷却、清洁加热。
本品是温度控制器和气氛可变腔体一体化的小型化低价格红外线灯加热设备。
加热操作可通过USB连接在电脑上进行，可轻松进行数据管理。

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空冷桌上型灯加热设备

MILA-700AR

不使用冷却水的桌上型灯加热装置。
冷却使用空冷风扇，只要有墙壁插座就可以立即加热。

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简易型红外线灯加热设备

SSA系列

红外镀金聚焦炉和石英腔体构成的简易型设备。
由红外镀金聚焦炉及包含试料架的石英腔体构成的低价格的加热系统。

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聚光点型红外镀金聚焦炉

MIRO系列

紧凑型红外镀金聚焦炉，1分钟可高速升温到1800℃。
可用于区熔和SiC功率器件的基础实验。

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红外线灯水淬火系统

CAS-MR59AQ

材料加热后使放下试料，在水淬火惰性气体中最高可以加热到1800℃。

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超高温灯退火设备

HT-RTA59HD

SiC等高价试料和其他高熔点材料的小片试料通过聚光点加热实现高反射效率，可升温至超高温1800℃的桌上型超高温灯管退火设备。

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生产用热处理炉(产线设备)

Production Heat Treatment Furnace (Manufacturing Line Equipment)

根据热处理目的形成加热系统。本装置根据构件的形状和工艺上的热处理目的形成加热炉及加热系统。最大限度活用高速加热、高速冷却、清洁加热，提供无公害、节约能源、高机能化的加热炉。

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