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红外镀金聚焦炉/RTA装置
空冷桌上型灯加热设备
MILA-700AR
アルバック販売
不使用冷却水的桌上型灯加热装置。
冷却使用空冷风扇，只要有墙壁插座就可以立即加热。
冷却使用空冷风扇，只要有墙壁插座就可以立即加热。
特点
- 50℃/s高速加热
- 可以选择真空，气体，气流，大气和任何环境
- 精确的温度控制
- 桌面型和紧凑型设计
用途
- 晶圆和化合物晶圆的快速加热
- 光CVD基板加熱
- 热循环测试
- 涂膜的耐热评价
- 有机材料、树脂类的加热干燥
规格
| Temperature Range | RT～700℃ |
|---|---|
| Sample Size | 20mm square x 2mm thickness |
| Measurement Atmosphere | Air, Vacuum, Gas flow |
