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红外镀金聚焦炉/RTA装置
红外镀金聚焦炉

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红外镀金聚焦炉

RHL-E/VHT/P系列

通过红外线灯加热的红外镀金聚焦炉作为研究开发设备和生产设备应用于多个领域。
从高速加热到广域加热都可满足客户的需求。

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红外镀金聚焦炉

Ps,Pss系列

应用于碳纳米管的生成设备和生产设备等广泛领域。
平板面状放射型红外线加热炉可以用于Φ2in～Φ300mm的硅片退火系统和生产用烧结炉。

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