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红外镀金聚焦炉/RTA装置
红外线灯加热设备

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红外线灯加热设备

RTP-6

最大6英寸的灯管退火设备。
用于个别半导体工艺的硅化物形成和化合物半导体的工艺退火。

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红外线灯加热设备

QHC系列 / VHC系列

用于从太阳能电池到化合物半导体等的工艺开发。
QHC系列是组合了红外镀金聚焦炉和温度控制器，更加紧凑地装备了石英热处理腔体的高速加热·高速冷却设备。
在个人电脑上能进行加热操作简单地数据管理。
加热操作可在电脑上进行，可轻松进行数据管理。

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