红外镀金聚焦炉/RTA装置
红外线灯加热设备
QHC系列 / VHC系列
ULVAC EQUIPMENT SALES
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关于QHC系列 / VHC系列的介绍、购买、商讨
用于从太阳能电池到化合物半导体等的工艺开发。
QHC系列是组合了红外镀金聚焦炉和温度控制器，更加紧凑地装备了石英热处理腔体的高速加热·高速冷却设备。
在个人电脑上能进行加热操作简单地数据管理。
加热操作可在电脑上进行，可轻松进行数据管理。
QHC系列是组合了红外镀金聚焦炉和温度控制器，更加紧凑地装备了石英热处理腔体的高速加热·高速冷却设备。
在个人电脑上能进行加热操作简单地数据管理。
加热操作可在电脑上进行，可轻松进行数据管理。
特点
- 各种条件设定，从高速加热到低速加热
- 多步循环加热
- 通过气体冷却机构进行高速气体淬火和冷却控制
- 通过PC轻松管理数据
用途
- 太阳能电池基板的热处理
- 氢环境下的热处理
- 各种材料的基础研究用环境退火・热处理模拟器
- 气淬热处理
- 热循环测试 热冲击测试
- 半导体材料的烧制和退火条件的检测
- 2英寸晶圆研究用退火
- 陶瓷控制环境下的热处理
规格
| Model | QHC、VHC-E410 | QHC、VHC-P610C | QHC、VHC-P616C |
|---|---|---|---|
| Heating Method | Focused light cylindrical heating | Parallel light cylindrical heating | |
| Temperature Range | RT ～ 1400℃ | RT ～ 1200℃ | |
| Heating zone | Φ15mm×L 100mm | Φ50mm×L 100mm | Φ50mm×L 150mm |
| Soaking zone | Φ10mm×L 80mm | Φ40mm×L 80mm | Φ40mm×L 120mm |
| Cooling method | Gas blowing from quartz nozzles inside chamber | ||
※1 Heating temperature changes according to the heated sample’s infrared reflectance, absorption, heat capacity, and material.
※2 For other specification requirements, please feel free to contact us.
