红外镀金聚焦炉/RTA装置
桌上型灯加热设备
MILA-5050
ULVAC EQUIPMENT SALES
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关于MILA-5050的介绍、购买、商讨
本设备是可以对尺寸为50*50毫米的试料进行热处理的桌上型灯加热设备。
MILA-5000（对应20*20毫米的试料）系列自上市以来，一直受到广大客户的喜爱。
应客户需求，开发了可以对50*50毫米试料进行热处理的，拥有将加热炉、腔体、温度控制器一体化的紧凑机身的本机型。
MILA-5000（对应20*20毫米的试料）系列自上市以来，一直受到广大客户的喜爱。
应客户需求，开发了可以对50*50毫米试料进行热处理的，拥有将加热炉、腔体、温度控制器一体化的紧凑机身的本机型。
特点
- 可以热处理最大W 50mm × L 50mm尺寸的样品
- 最高使用温度为1200°C
- 桌面型，加热炉，腔室，温度控制器一体化
- Cold Wal结构l可以快速加热/冷却和清洁加热
- 通过连接有USB连接在电脑上，可以轻松输入温度程序
- 加热时的温度数据可以显示在计算机屏幕上（可以保存为文本文件）
用途
- Si晶圆、化合物晶圆的高速加熱
- 光CVD基板加熱等の电子材料高速加热
- 玻璃基板、陶瓷、复合材料等的热处理
- 热循环测试
- 金属材料的退火
- 涂膜的耐热性评估
- 有机材料、树脂类的加热、干燥
规格
| Temperature Range | RT～1200℃ |
|---|---|
| Heating rate | 50℃/s |
| Sample Size | ☐50 or Φ50 × t2 (mm) |
| Atmosphere | Vacuum, Gas flow |
*Vacuum pumping system is optional. * Heating temperature changes according to the heated sample’s infrared reflectance, absorption, heat capacity, and material.
Measurement data
① 500℃,Δt = 3.2℃
② 800℃,Δt = 0.6℃
③ 1000℃,Δt = 4.2℃
④ 1200℃,Δt = 2.6℃
Sample assembly (when measuring 2-inch sample)
SiC coat carbon susceptor and quartz sample holder are optional parts (above).
Utility
| Power source | AC200V, 5kW |
|---|---|
| Cooling water | City water, flow rate 6L/min water pressure 0.3MPa or more |
| System size | 450(W) x 492(D) x 219(H) mm without protrusion |
| Weight | approx. 24kg |
Option
- SiC coat carbon susceptor
- Vacuum exhaust system (RP, DRY, TMP etc.)
- Gas flow unit (rotameter)
- Flow switch for cooling water
- Check valve (relief valve)
- Power cable, Cooling water hose
- Cooling water circulator
- Handy spot welder (HS-9000)
- Handy arc welder (HA-1H)
