纳米粒子形成装置
电弧等离子体蒸发源
电弧等离子体蒸发源
APS-1
同时蒸发不同的"蒸发材料"。
通过将本蒸发源增设在既存的电弧等离子法纳米粒子形成装置APD系列和手持式真空腔体中，可以同时蒸发不同的"蒸发材料"，生成具有新特性的材料。
电弧等离子法纳米粒子形成装置
电弧等离子法纳米粒子形成装置
APD系列
是利用脉冲真空电弧放电的新型纳米粒子形成装置。
脉冲真空电弧蒸发是以简单的工艺产生金属离子，形成极薄膜和纳米粒子的唯一方法。
在微粒子的形成等方面，可以获得其他蒸发法不能获得的效果。