爱发科集团生产，销售的真空相关的设备介绍。
关于高速光谱椭偏仪的介绍、购买、商讨
高速光谱椭偏仪可高精度、非接触式测量薄膜的厚度和光学常数（折射率、消光系数）。
ULVAC的高速光谱椭偏仪“UNECS系列”采用独特的测量方法，实现了20ms的高速测量和紧凑的尺寸。
种类
手动型
有可随身携带的便携式型号和带 150mm 手动载物台的型号。
自动型
自动平台模型兼容150mm/200mm/300mm基板。自动绘图测量允许您显示薄膜厚度分布的彩色图。
自动型
Model:UNECS-1500A
"Model:UNECS"是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
UNECS-1500A采用自动R-θ平台和自动对焦功能，可快速自动测量整个φ150mm样品表面的膜厚，并以彩色图显示膜厚分布。
自动型
Model:UNECS-2000A
"Model:UNECS"是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。
采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
UNECS-2000A采用自动R-θ平台和自动对焦功能，可快速自动测量整个φ200mm样品表面的膜厚，并以彩色图显示膜厚分布。
自动型
Model:UNECS-3000A
"Model:UNECS"是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。
采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
UNECS-3000A采用自动R-θ平台和自动对焦功能，可快速自动测量整个φ300mm样品表面的膜厚，并以彩色图显示膜厚分布。
嵌入型
它是一种内置型号，由于发光和接收传感器头体积小、重量轻，因此可以轻松集成到检查设备中。
嵌入型
Model:UNECS-1M
"Model:UNECS"是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。
采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
UNECS-1M的传感器单元轻巧紧凑，使其易于集成到检测设备中。
选型
膜厚标准样品 SiO2/Si_100nm
