自动型
关于自动型的介绍、购买、商讨
自动平台模型兼容150mm/200mm/300mm基板。自动绘图测量允许您显示薄膜厚度分布的彩色图。
自动型
Model:UNECS-1500A
"Model:UNECS"是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
UNECS-1500A采用自动R-θ平台和自动对焦功能，可快速自动测量整个φ150mm样品表面的膜厚，并以彩色图显示膜厚分布。
自动型
Model:UNECS-2000A
"Model:UNECS"是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。
采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
UNECS-2000A采用自动R-θ平台和自动对焦功能，可快速自动测量整个φ200mm样品表面的膜厚，并以彩色图显示膜厚分布。
自动型
Model:UNECS-3000A
"Model:UNECS"是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。
采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
UNECS-3000A采用自动R-θ平台和自动对焦功能，可快速自动测量整个φ300mm样品表面的膜厚，并以彩色图显示膜厚分布。