爱发科集团生产，销售的真空相关的设备介绍。
关于高速光谱椭偏仪的介绍、购买、商讨
高速光谱椭偏仪可高精度、非接触式测量薄膜的厚度和光学常数（折射率、消光系数）。
ULVAC的高速光谱椭偏仪“UNECS系列”采用独特的测量方法，实现了20ms的高速测量和紧凑的尺寸。
泵的种类
手动型
有可随身携带的便携式型号和带 150mm 手动载物台的型号。
手动型
UNECSｰPortable
UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。
采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括独特的便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-Portable，测量部的重量只有2.2kg重量轻且紧凑，是易于携带的便携式类型。
可用于真空设备现场验收试验，可以通过分离样品台直接放在样品上进行大尺寸样品的测量。
手动型
UNECS-1500M
UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括独特的便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-1500M装备有操作性好的对应Φ150mm的手动式R-θstage，易于定位测量位置。
自动型
自动平台模型兼容150mm/200mm/300mm基板。自动绘图测量允许您显示薄膜厚度分布的彩色图。
自动型
UNECS-1500A
UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括独特的便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-1500A/2000A/3000A通过自动R-θstage和自动对焦功能，快速自动测量整个样品表面的膜厚，并通过彩色地图显示膜厚分布。
自动型
UNECS-2000A
UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。
采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括独特的便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-1500A/2000A/3000A通过自动R-θstage和自动对焦功能，快速自动测量整个样品表面的膜厚，并通过彩色地图显示膜厚分布。
自动型
UNECS-3000A
UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。
采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括独特的便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-1500A/2000A/3000A通过自动R-θstage和自动对焦功能，快速自动测量整个样品表面的膜厚，并通过彩色地图显示膜厚分布。
嵌入型
它是一种内置型号，由于发光和接收传感器头体积小、重量轻，因此可以轻松集成到检查设备中。
嵌入型
UNECS-1M
UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。
采用独特的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括独特的便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-1M的传感器单元轻量、紧凑，能够简单嵌入成膜设备等。
除了通常的大气压类型以外，也有对应真空环境的类型。
选型
膜厚标准样品 SiO2/Si_100nm
