C30VRT

アルバック・クライオ

用于使低温泵运转。将压缩后的氦气送出冷冻机，冷却从冷冻机回来的高温氦气，使之循环。

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可选部件・消耗品

低温泵

再生气体配管单元 PR1A 再生气体配管单元 PR2A 再生气体配管单元 PR3A 带式加热器 RBH-6 带式加热器 RBH-8 带式加热器 RBH-8HSP 带式加热器 RBH-10 带式加热器 RBH-12 带式加热器 RBH-16 带式加热器 RBH-20 带式加热器 RBH-22 带式加热器 BH-22P 带式加热器 RBH-30