低温泵
CRYO-U 系列
アルバック・クライオ
多台运作（2台），可以降低运行成本。
面向实验设备、中规模生产设备。
| 排气速度(20℃) | 氮气 | L/s | 2,400 |
| 氢气 | 3,600 | ||
| 氩气 | 2,000 | ||
| 水 | 6,900 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 8.0×102(6.0) |
| 氢气 | 1.5×102(1.1) | ||
| 排气容量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 1.0×108(7.8×105) |
| 氢气 | 6.7×105(5.0×103) | ||
| 冷却下降时间 (电力循环) |
min(Hz) | 110/100(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-250 | ||
| 压缩机单元 | C15R | ||
| 质量 | Kg | 29.0 | |
*维护间隔时间：16,000时间
*移动架台是可选的
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ULVAC SHOWCASE
多台运作（2台），可以降低运行成本。
面向实验设备、中规模生产设备。
| 排气速度(20℃) | 氮气 | L/s | 2,400 |
| 氢气 | 3,600 | ||
| 氩气 | 2,000 | ||
| 水 | 6,900 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 8.0×102(6.0) |
| 氢气 | 1.5×102(1.1) | ||
| 排气容量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 1.0×108(7.8×105) |
| 氢气 | 6.7×105(5.0×103) | ||
| 冷却下降时间 (电力循环) |
min(Hz) | 110/100(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-250 | ||
| 压缩机单元 | C15R | ||
| 质量 | Kg | 29.0 | |
*维护间隔时间：16,000时间
*移动架台是可选的
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