低温泵

CRYO-U 系列

CRYO-U12HSP

アルバック・クライオ

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

特点

  1. 氩气的排气速度约为标准型号(U12H)的2倍。
  2. 氢气的排气速度约为标准型号(U12H)的1.5倍。
  3. 再生的间隔时间更长,有助于增加设备的工作时间。

标准规格

排气速度(20℃) L/s 4,100
6,000
3,400
9,500
极限压力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 Pa・L/s(Torr・L/s) 2.0×103(15.0)
4.1×102(3.1)
排气容量 Pa・L(Torr・L) 4.4×108(3.3×106)
1.6×106(1.2×104)
冷却下降时间(动力循环) min(Hz) 90/80(50/60)
吸气口法兰 UVG-300,10BANSI
压缩机组 C30VRT
重量 Kg 42

*维护周期:16,000小时

外形尺寸 (单位:mm)

u12hsp.gif

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