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低温泵

CRYO-U 系列

CRYO-U16P

アルバック・クライオ

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。
根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

特点

  1. 特别适用于中,大型生产设备。
  2. CRYO-U16的高负荷型。

标准规格

排气速度(20℃) L/s 5,000
10,000
4,200
16,000
极限压力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 Pa・L/s(Torr・L/s) 1.6×103(12)
4.5×102(3.4)
排气容量 Pa・L(Torr・L) 4.3×108(3.3×106)
2.4×106(1.8×104)
冷却下降时间(动力循环) min(Hz) 120/110(50/60)
吸气口法兰 UVG-400
压缩机组 C30VRT
重量 Kg 61.0

*维护周期:16,000小时
*Moveable base is option

外形尺寸 (单位:mm)

u16-u16p.gif

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