低温泵

CRYO-U 系列

CRYO-U20P

アルバック・クライオ

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

特点

  • 特别适用于大型成膜生产设备。
  • 特别适用于批量型大型成膜设备。

标准规格

排气速度(20℃) L/s 10,000
18,000
8,400
29,000
极限压力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 Pa・L/s(Torr・L/s) 1.1×103(8.7)
5.0×102(3.7)
排气容量 Pa・L(Torr・L) 5.8×108(4.4×106)
4.6×106(3.4×104)
冷却下降时间(动力循环) min(Hz) 180/160(50/60)
吸气口法兰 UVG-500
压缩机组 C30VRT
重量 Kg 69.0

*维护周期:16,000小时

外形尺寸 (单位:mm)

u20p_e.gif

咨询该产品相关问题

This website use cookies to obtain and use access data to understand the convenience and usage of customers. If you agree to use cookies, click "I Accept".
[Privacy Plicy] [Cookie Policy]

I Accept