低温泵

CRYO-U 系列

CRYO-U22H

アルバック・クライオ

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

特点

  • 特别适用于大型成膜设备。
  • 水的排气速度最高。

标准规格

排气速度(20℃) L/s 17,000
25,000
14,000
39,000
极限压力 Pa(Torr) 10-7 (10-9)
最大流量 Pa・L/s(Torr・L/s) 4.1×103 (31)
1.3×103 (9.6)
排气容量 Pa・L(Torr・L) 8.1×108 (6.1×106)
8.5×106 (6.4×104)
冷却下降时间(动力循环) min(Hz) 150/135 (50/60)
吸气口法兰 VG-550
压缩机组 C30VRT×2
重量 Kg 125.0

*保养周期:16,000小时

U22H,U30H fall under category of export contol products
Corresponds to export control product suach as strategic time
Please take nessecary procedure for Export permisson from Japan goverment

外形尺寸 (单位:mm)

u22h.gif

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