SHOWCASE

低温泵

CRYO-U 系列

CRYO-U22P

アルバック・クライオ

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

标准规格

排气速度(20℃) L/s 11,500
14,000
9,700
39,000
极限压力 Pa(Torr) 10-7 (10-9)
最大流量 Pa・L/s(Torr・L/s) 1.7×103 (12.8)
5.0×102 (3.7)
排气容量 Pa・L(Torr・L) 5.8×108 (4.4×106)
6.0×106 (4.5×104)
冷却下降时间
(动力循环)
min(Hz) 180/170 (50/60)
吸气口法兰 UVG-550
压缩机组 C30PVRT
重量 Kg 115.0

*保养周期:16,000小时

外形尺寸 (单位:mm)

u22p.gif

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