低温泵

CRYO-U 系列

CRYO-U30H

アルバック・クライオ

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

特点

  • 特别适用于大型成膜设备,真空腔室等。
  • 水的排气速度最高。

标准规格

排气速度(20℃) L/s 28,000
43,000
23,000
70,000
极限压力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 Pa・L/s(Torr・L/s) 2.7×103(20)
7.4×102(5.6)
排气容量 Pa・L(Torr・L) 7.8×108(5.9×106)
1.5×107(1.1×105)
冷却下降时间(动力循环) min(Hz) 240/200(50/60)
吸气口法兰 VG-750
压缩机组 C30VRT×2
重量 Kg 175.0

*维护周期:16,000小时

U22H,U30H fall under category of export contol products
Corresponds to export control product suach as strategic time
Please take nessecary procedure for Export permisson from Japan goverment

外形尺寸 (单位:mm)

u30h1.gif

咨询该产品相关问题

This website use cookies to obtain and use access data to understand the convenience and usage of customers. If you agree to use cookies, click "I Accept".
[Privacy Plicy] [Cookie Policy]

I Accept