低温泵

CRYO-U 系列

CRYO-U4H

アルバック・クライオ

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

特点

  • 最大发挥了4-inch低温泵的排气特性。
  • 高排气速度有助于提高排气效率和生产率。
  • 特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。
  • 1台压缩机最多可以运行四台泵。
  • 可以根据您的应用进行设计和制造。

标准规格

排气速度(20℃) L/s 450
500
370
1,100
极限压力 Pa 10-7
最大流量 Pa・L/s 1.3×103
排气容量 Pa・L 1.0×107
1.5×105
冷却下降时间 min(50/60Hz) 45/50
重量 Kg 14.5

外形尺寸 (单位:mm)

u4h.gif

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