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低温泵
CRYO-U 系列
CRYO-U4H
アルバック・クライオ
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
特点
- 最大发挥了4-inch低温泵的排气特性。
- 高排气速度有助于提高排气效率和生产率。
- 特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。
- 1台压缩机最多可以运行四台泵。
- 可以根据您的应用进行设计和制造。
标准规格
| 排气速度(20℃) | 氮 | L/s | 450 |
| 氢 | 500 | ||
| 氩 | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 极限压力 | Pa | 10-7 | |
| 最大流量 | 氩 | Pa・L/s | 1.3×103 |
| 排气容量 | 氩 | Pa・L | 1.0×107 |
| 氢 | 1.5×105 | ||
| 冷却下降时间 | min(50/60Hz) | 45/50 | |
| 重量 | Kg | 14.5 | |
外形尺寸 (单位:mm)
