SHOWCASE

低温泵

CRYO-U 系列

CRYO-U8HL

アルバック・クライオ

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同,从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

特点

  • 与CTI低温泵CT-8完全可互换。
  • 氢气排放特性优于CT-8
  • 可以多台运作(最多3台)。

标准规格

排气速度(20℃) L/s 1,700
2,700
1,400
4,000
极限压力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 Pa・L/s(Torr・L/s) 1.2×103(8.9)
2.4×102(1.8)
排气容量 Pa・L(Torr・L) 1.0×108(7.6×105)
1.0×106(7.6×103)
冷却下降时间
(动力循环)
min(Hz) 100/90(50/60)
吸气口法兰 UVG-200,6BANSI,UFC-253
压缩机组 C10T,C10AT
重量 Kg 20.8

*维护周期:16,000小时

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