排气单元
DEPOX 系列
VFR-200M/X
アルバック機工
在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、电力系统、压力测量口等必要机器的小型高真空排气装置。
DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。
使用简单、最适合用于实验。
DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。
使用简单、最适合用于实验。
特長
- 可以在不停止主泵的情况下打开真空室。
- 使用三通阀,组件更少,维修更容易。
- 真空计等配件可以存放在同一个架台上。
- 空冷型,不需要冷却水。
- 带有轮子,易于移动。
- 配有调节器,可以确保安装的安全性。
规格
型号 | VPC-053 |
极限压力
|
7.0×10-4Pa 1.5×10-4Pa(使用液氮时) |
主泵
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油扩散泵(空冷) 50 L/sec |
辅助泵
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油回转真空泵 20 L/min |
メイン阀门
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25A蝶阀 |
辅助阀门
|
三通阀 |
吸气口
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VG-25 |
重量
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20kg |
最大尺寸 (W×D×H)
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350mm(W)×320mm(D)×461mm(H) |
※电离真空计・皮拉尼真空计・液氮阱・吸气法兰・油雾阱可选
效用
型号 | VPC-051 |
所需电力
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单相 100V 0.63kVA |
接地端子
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D种 (接地电阻值/100MΩ以下) |
安装
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乙烯基电缆(带插头) 2m |
油扩撒泵
![ph_dpf200.jpg](../../../../../ja/products/ph_dpf200.jpg)
型 式 | DPF-200 |
极限压力
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10-5Pa |
最大排气速度
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200L/sec |
临界背压
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20Pa |
所要電力
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单相 100V 0.45kW |
使用油
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SX 70cc |
质量
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5kg |
吸气法兰
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VG-65 |
排气管
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Φ27mm |
冷却方式
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空冷 |
尺寸图
![zu_vfr200mx.gif](../../../../../ja/products/zu_vfr200mx.gif)
排气系统图
![haikizu_vfr200mx.gif](../../../../../ja/products/haikizu_vfr200mx.gif)