VPC-051|VPC 系列|排气单元|真空泵(高真空)|产品中心|ULVAC SHOWCASE

排气单元

VPC 系列

VPC-051

アルバック機工

在管架上紧密安装了油扩散泵、油旋片真空泵、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器的低成本小型高真空排气装置。
使用与保养检修很简单,最适合用于实验。

特点

  • 桌面型和紧凑型可节省安装空间。
  • 可以在不停止主泵的情况下打开真空室。
  • 空冷型,不需要冷却水。

规格

 型号 VPC-051
极限压力
7.0×10-4Pa
1.5×10-4Pa(使用液氮时)
主泵
油扩散泵(空冷) 50 L/sec
辅助泵
油回转真空泵 20 L/min
主阀门
25A蝶阀
辅助阀门
三通阀
吸气口
VG-25
重量
20kg
最大尺寸 (W×D×H)
350mm(W)×320mm(D)×461mm(H)
电离真空计・皮拉尼真空计・液氮阱・吸气法兰・油雾阱可选

效用

 型号 VPC-051
所需电力
单相 100V 0.63kVA
接地端子
D种 接地电阻值/100MΩ 以下)
安装
乙烯基电缆 (带插头) 2m

油扩撒泵

ph_dpf050.jpg

型   式 DPF-050
极限压力 10-5Pa
最大排气速度 50L/sec
临界背压 13Pa
所要電力 单相 100V 0.25kW
使用油 SY 20cc
质量 1.8kg
吸气法兰 VG-25
排气管 Φ14mm
冷却方式
空冷

尺寸图

zu_vpc051.gif

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可选部件・消耗品

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