排气单元

VPT 系列

VPT-060

アルバック機工

在架台上紧密集成了涡轮分子泵、干泵、阀门配管、电气系统等必要设备,是干燥型小型的高真空排气装置。
最适合于半导体、分析、检查、理化、制药等各领域的洁净真空环境。

特点

  • 完全干燥的排气装置。
  • 安装空间紧凑。

规格

型号
VPT-060
极限压力
10-5 Pa台
主泵 涡轮分子泵(空冷)60L/sec
辅助泵 隔膜式干式真空泵 20 L/min
吸气口 ISO63(Option:KF-40)
重量 17kg
最大尺寸 (W×D×H) 340mm(W)×340mm(D)×355mm(H)

电离真空计・皮拉尼真空计・配管部品可选。
根据使用条件,性能可能会降低。

效用

型号
VPT-060
所需电力
单相 100V 0.3kVA
接地端子
D种 (接地电阻值/100MΩ以下)
安装
乙烯基电缆(带插头) 2m

尺寸图

zu_vpt060.gif

> CAD数据下载(DXF)

排气系统图

zu_vpt060_flow.gif

可选部件

zu_vpt060_op.gif

> 可选部件网站

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