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排气单元
VPT 系列
VPT-060
アルバック
在架台上紧密集成了涡轮分子泵、干泵、阀门配管、电气系统等必要设备,是干燥型小型的高真空排气装置。
最适合于半导体、分析、检查、理化、制药等各领域的洁净真空环境。
最适合于半导体、分析、检查、理化、制药等各领域的洁净真空环境。
特点
- 完全干燥的排气装置。
- 安装空间紧凑。
规格
| 50Hz | 60Hz | |
|---|---|---|
| 极限压力 | 10-5 Pa | |
| 重量 | 17 kg | |
| 吸气口 | ISO63（选购配件：KF-40） | |
| 环境温度 | 8～38 ℃ | |
| 最大尺寸 | 340 mm(W) × 340 mm(L) × 355 mm(H) | |
| RoHS指令 | ● | |
*根据使用条件，性能可能会降低。
尺寸图
