排气单元
VPT 系列
VPT-060
アルバック
在架台上紧密集成了涡轮分子泵、干泵、阀门配管、电气系统等必要设备,是干燥型小型的高真空排气装置。
最适合于半导体、分析、检查、理化、制药等各领域的洁净真空环境。
最适合于半导体、分析、检查、理化、制药等各领域的洁净真空环境。
特点
- 完全干燥的排气装置。
- 安装空间紧凑。
规格
50Hz | 60Hz | |
---|---|---|
极限压力 | 10-5 Pa | |
重量 | 17 kg | |
吸气口 | ISO63(选购配件:KF-40) | |
环境温度 | 8~38 ℃ | |
最大尺寸 | 340 mm(W) × 340 mm(L) × 355 mm(H) | |
RoHS指令 | ● |
*根据使用条件,性能可能会降低。
尺寸图
![zu_vpt060.gif](../../../../../ja/products/img/zu_vpt060.gif)