排气单元
YTPー50MB/SAB
アルバック
YTP系列Ver.B是装载了陶瓷球轴承型涡轮分子泵的高真空排气组合装置。
排气范围从大气压到高真空。
SA样式是利用START/STOP开关自动排气,M样式为手动操作。
辅助泵的选择方面:油回转泵为标准规格,还可以选择搭载干泵的规格。
排气范围从大气压到高真空。
SA样式是利用START/STOP开关自动排气,M样式为手动操作。
辅助泵的选择方面:油回转泵为标准规格,还可以选择搭载干泵的规格。
特点
- 根据不同应用准备了各种型号 背泵可以选择标准规格回转泵,也可以选择其他选项螺杆式干泵。
- 采用卓越的电源故障防止功能 前阀上标配有电磁阀,可防止电源故障时出现反向流动和故障。
- 可以检查粗抽泵的状况 标准配备了皮拉尼真空计,因此可以检查粗抽过程中的压力。
- 可以达到超高真空区域 通过安装可选的烘烤加热器并进行脱气,可以达到超高真空范围。
(※作为产品规格值)
用途
- 从大气压到高真空的排气系统
- 各种实验和研发设备的排气系统
- 高纯度气体的真空置换
- 超高真空设备的粗抽排气系统
- 分析设备的排气系统
规格
型号 |
YTP-50MB YTP-50SAB |
YTP-50MB-DRY YTP-50SAB-DRY |
YTP-300MB YTP-300SAB |
YTP-300MB-DRY YTP-300SAB-DRY |
|
TMP吸气口法兰 | ICF114 | ICF152 | |||
VG65 | VG100 | ||||
ISO63-K | ISO100-K | ||||
TMP极限压力*1 | 烘烤前 | 10-6Pa台 | 10-6Pa台 | ||
烘烤后 | 10-8Pa台 | 10-8Pa台 | |||
TMP排气速度(L/s)*2 | N2 | 70 | 280 | ||
H2 | 49 | 220 | |||
辅助泵排气口法兰 | G3/4 | NW16 | G1 | NW16 | |
辅助泵排气速度(L/min) | 50Hz | 50 | 90 | 200 | 250 |
60Hz | 60 | 100 | 240 | 300 | |
TMP背压・粗抽压力监控 | 皮拉尼真空计(2.7×103~10-1Pa) | ||||
前阀 | 回转泵自动排气机构的电磁阀(L型电磁阀) | ||||
输入压力 | 单相AC100V(50/60Hz) | ||||
输入电缆长度 | 5m(3P带插座) | ||||
功率(kVA) | 1.2 | 0.9 | 1.7 | 1.6 | |
恒定功耗(kVA) | 0.6 | 0.4 | 1 | ||
质量(kg) | 55 | 57 | 86 | 85 |
*1:只有ICF法兰规格才能进行烘烤。
*2:排气速度是没有防护网时的值。